【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

電動ステージ(自動ステージ)一覧

在庫販売で短納期！全品1個から販売

ッピングモーターとピエゾドライブシステムの両方で、長い移動量や サブミクロンでのモーター移動など、異なるアプリケーション要求に 応じてさまざまなレベルの精度と移動量をラインアップします。 真空チャンバー内での使用や他の真空対応グレードの部品との使用に向けて、 低アウトガスの真空対応電動ステージもラインアップ。 多軸モーションコントロールや汎用性の向上に向けて連結することができる ...

メーカー・取り扱い企業： エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社

広帯域用レーザーミラー一覧

在庫販売で短納期！全品１個から販売

おいて98%を超える反射率を 実現します。 広帯域誘電体膜直角プリズムミラーも同様の性能で用意しており、 レーザーシステム内への容易な実装を可能にします。 深紫外 (DUV) および真空紫外 (VUV) アプリケーションには、 精密紫外用ミラーをご用意しています。このミラーは、偏光の影響を最小限に 抑えるアルミベースのコーティングを施し、同紫外域において卓越した 反射率を実現...

メーカー・取り扱い企業： エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社

精密紫外用ミラー

深紫外 (DUV) と真空紫外 (VUV) 用の2つのコーティングオプ…

TECHSPEC 精密紫外用ミラーは、商用向けに販売される大抵の光源への使用に理想的で、深紫外 (DUV) と真空紫外 (VUV) 用の2つのコーティングオプションが選べます。DUVコーティングは、190nmから長波赤外 (LWIR) までに優れた反射率があり、VUVコーティングは120nmからLWIRまでの反...

メーカー・取り扱い企業： エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社

バンドパスフィルター一覧

在庫販売で短納期！全品１個から販売

ド幅を持ちます。 エドモンド・オプティクスの10nmフィルターは、化学、環境、 元素分析用に好適です。 ハードコートフイルターは、高い耐久性を備えた高性能を実現します。 伝統的な真空蒸着法により製造されるソフトコートフィルターは、 コスト重視の際に格好な選択肢です。 なお光学用バンドパスフィルターは、得られる光学特性が入射角度により 大きく異なるため、光学系への固定や...

メーカー・取り扱い企業： エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社