従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

【シロキサンフリー】半導体チップ搬送ケース『ゲルベースVタイプ』

PR半導体チップや精密デバイスなどを振動から守り 安全に保管・搬送！シロキ…

★電子機器トータルソリューション展に出展します★ JPCA Show 2024 2024/4/24(水)～26(金) 10:00-17:00 パシフィコ横浜　展示ホール 小間番号：6H-10 ゲルベースは半導体チップや精密デバイスなど細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。 搬送時は振動から精密部品を守り、また半導体等部品のデバイス固定用としても大活躍。 粘...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクシール 本社

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。...駆動源に回転式超音波モータ（ＵＳＭ）を採用した真空非磁性対応 ＵＳＭ駆動ユニットです。 【特長】 　◇回転式超音波モータを採用し、真空や非磁性環境に対応 　◇動作毎のユニットで組合せ自由な軸構成 　◇環境や精度グレードによるモデル分けでコストパフ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。...真空非磁性対応の回転式超音波モータ（ＵＳＭ）です。 【特長】 　◇真空環境、磁場の影響が気になる環境下の駆動源として使用 　◇自己保持タイプで停電時の安全対策に適したモータ 　◇エンコーダを装着することで高精度な位置決めも可能 ⇒詳細はダウン...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…

半導体の高精度化と微細化、またその半導体を必要とする分野が急速に拡大することに伴って、現在半導体製造におけるプロセス装置は今まで以上に高電圧化が進みながら、装置自体の小型化が強く求められています。 レモコネクタは、今後の半導体製造装置の進化に対してプッシュプル・小型高電圧製品で「お客様の電圧増加・省スペース化の課題を解決」いたします。 ●高電圧： 最大50kVDCまで対応可。単極・多極・...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

小型ECR原子ビーム源『ERS-35』

メタルコンタミフリーの誘電体ライニング！超高真空装置に対応できる小型E…

『ERS-35』は、MBE等の超高真空装置にも適応できるECR放電型の 小型原子ビーム源(ラジカル源)です。 完全メタルシールにより超高真空装置に対応。 取り扱いが容易な同軸ケーブル給電です。 MBE装置の窒素／酸素ラジカル源や表面クリーニングのための 原子状水素源に応用できます。 【特長】 ■完全メタルシールにより超高真空装置に対応 ■取り扱いが容易な同軸ケーブル給電...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社

ハーメチックフィードスルー

ハーメチックフィードスルー

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の 真空アプリケーションを提供することができます。...真空チャンバーの隔壁に使用するハーメチックフィードスルーです。 【特長】 　◇多極に対応するＤ－ＳＵＢ型 ＜DC＞シリーズ 　◇多極に対応するＭＳ丸型 ＜MC＞シリーズ 　◇単極（同軸）にはＢＮＣ型、高圧タイプのＳＨＶ型、コンパクトな 　　ＬＥＭＯ型 ＜CC＞シリーズ ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

【資料】真空コネクタソリューション

今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…

レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供可能であり、標準型タイプでは80℃までの温度で使用可能です。 高温環境では、300℃までにおいて、気密ソリューションをカスタム品として提供出来ます。 He漏れ率は1×10⁻⁸ Pa ㎥/s （1×10⁻⁷mbar.ℓ/s）以下です。より低い漏れ率が必要な場合は、...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社