マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。機能切替はボタン一つで楽々。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○シャーペンの替え芯を蒸着。マグネト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

成膜装置向けバッキングプレート

複合NC旋盤にて全周切削加工から、端面加工、周囲の穴開け加工まで、プロ…

こちらは、成膜装置向けのバッキングプレートです。材質はC1020（無酸素銅）で、加工難易度も高い銅板プレートとなっています。こちらのバッキングプレートは、銅板加工.comの複合NC旋盤にて全周切削加工から、端面加工、周囲の穴開け加工まで、プログラムによってワンストップで加工を行っております。そのため穴の位置精度も高く、形状精度の高いバッキングプレートの製造を可能にいたしました。 表面処理など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイジェクト

卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積（ALD）装置

Arradiance社製卓上型ALD装置　卓上型ながらプラズマユニット…

テーブルトップのコンパクトサイズALD装置ながら原子レベルレイヤーの成膜が可能。プラズマユニットを装備したPEALD装置もございます。 直径200mm、高さ25mmまでの構造物、カーボンナノチューブ（CNT）やグラフェンにも成膜可能。 酸化膜以外にも窒化物、PtやRuの金属の成膜も対応。 4系統のマスフロー制御プラズマ・ガス入力を備えた300W空冷ダイレクトICPプラズマヘッド 最...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイチ・ティー・エル HTL（エイチティーエル）

マグネトロンスパッタ装置 カーボンコーター

誰でも使える簡単操作の卓上型コーティング装置

卓上型コーティング装置「Q plusシリーズ」は、設定した条件をタッチパネルから選択するだけの操作で誰でも簡単にさまざまな試料にコーティングが可能です。 レシピの作成も簡単なフルオートのスパッターコーターは、チャンバーサイズが150mmと300mmの２サイズあり、その高さも標準の127mmとロングの214mmがあり、大きなサンプルへのコーティングができます。...タッチパネル操作のフルオート多...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

有限会社テクノクリーン　事業紹介

洗浄から真空装置まで豊富な知識を持った責任者が対応いたします！

有限会社テクノクリーンは、高品質の真空成膜装置に装着されるシールド 部品などの洗浄、矯正修理を行う再生、アーク溶射をはじめとする 表面処理、真空装置全般の改造及びオーバーホール、各種真空装置設計・ 製作を行っている会社です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクノクリーン

セラミックコーティング装置

基材駆動機構を備え、基材を回転・旋回・水平進をすることが可能！加熱ヒー…

『セラミックコーティング装置』は、高真空状態において基材に セラミックをコーティングする装置です。 チャンバー内温度を1200℃近くまで昇温可能。また、大きな特長として、 基材駆動機構を備えており、基材を回転・旋回・水平進をすることができます。 蒸発源として電子銃（JEOL製16KW電子銃）を採用、インゴット状の 蒸発材料に対応する為にルツボ部が昇降・回転制御可能となっています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社

LUXEL社製　抵抗加熱蒸着源(エバポレータ)　OLED

有機EL等の有機薄膜デバイスの開発に最適、抵抗加熱型蒸着源

高品質薄膜フィルターメーカーのLUXEL社は、真空蒸着用にお使い頂ける、抵抗加熱型蒸着源(エバポレーター)を提供しております。 低温蒸着用ですので、有機EL等の有機薄膜デバイスの開発に適しています。また、コンパクトで取扱いが簡単なため、実験用に最適です。 ★ラインナップ★ ●小型サイズ（1cc） のOLED１ ●中型サイズ（10cc）のOLED２ ★特長★ - 揮発性有機...

メーカー・取り扱い企業： ラドデバイス株式会社

クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。 米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またSEMI S2/S8認定により、当システムが業界の最も厳しい規格と互換性があることが保証されています。 Morpher ALDシステムは、...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

FAD フィルタードアーク蒸着装置

新機能性薄膜開発に、次世代表面保護膜開発に

スパッタやプラズマCVDでは得られない、高品質膜を実現！ SPS装置（通電燒結装置）との組合せで、自在に薄膜開発が可能に！ 想いのターゲット製作から成膜実験までを、1日で可能に！ クリーン真空アークプラズマを用いたリアルイオンプレーティング ...生産用フィルタードアーク蒸着装置 開発用小型フィルタードアーク蒸着装置：μT-FAD ta-C膜、水素フリーDLC他各種DLCを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウエキコーポレーション

マテリアルプロセッシング 電子・光学材料の精密一貫性加工サービス

セラテックジャパン株式会社は電子材料・光学材料の加工専門会社です

素材の調達から小ロット試作、垂直立ち上げ～量産まで、スピードと柔軟性を活かした、一貫した「ワンストップ加工サービス」を提供しています。...【特徴】 ○光学特性はお客様の仕様に沿って対応致します。 ○イオンアシスト真空蒸着により､シフトレスで徹密な膜を形成致します。 ○成膜後の加工プロセスまで､社内一貫生産でトータルに対応致します｡ ○紫外域～可視光～赤外域まで､幅広く対応致します。 ...

メーカー・取り扱い企業： セラテックジャパン株式会社