スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

エキシマUV装置（ハンディタイプ）

超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W3…

超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能 【社内実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計で...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

エキシマUV受託テスト

実験可能サイズ：600×700mm（最大） ランプ照度：50～140…

【実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

卓上型マニュアルスピンコーターは、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です。 条件設定は操作パネルのタッチパネルで行います。 各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社