【SCREEN】”塗る”を極めたスリットコータ ※カタログ進呈

PRラボスケールでの高精度塗布を実現。低粘度から高粘度まで、実験・試作段階…

『リサーチコータ』は、液晶や有機ELディスプレー製造工程で 数多くの採用実績を誇る「コーターデベロッパー」の高度な塗布技術を ラボスケールに展開したスリットコータ（ダイコータ）です。 塗布部にはスリット式塗布装置「リニアコータ(TM)」を搭載。 1～10,000mPa・sの低粘度から高粘度の塗布材料を、ガラス基板、樹脂基板、 フィルム、金属箔など様々な基材に高精度にスリットコートでき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜（数um)～厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブ…

『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。 抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野で採用されており、透明体厚み、コーティング厚み測定、複数層の同時測定（最大16層）に適しています。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富な...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』

コスト重視におすすめな安価なタイプ。厚み測定、距離測定用センサ。ウエハ…

『CHRocodile C』は、安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度は他のラインナップと変わらず、nm分解能の距離測定　最大4表面、3層厚みを同時測定できる厚みセンサとして使用できます。また、プローブと本体が一体の手のひらサイズとコンパクトで、組込み時に省スペースを実現し、インラインでの使用もお勧めです。粗面、鏡面、色付き材料など全ての表面に対応し、測定レンジの範囲も広いセンサーで...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ

インライン検査に。70,000ポイント/秒のスキャンに対応。膜厚も測定…

当社では、最大直径80mmの3D形状測定が高速で行える 超高速光学スキャナー『Flying Spot Scanner(FSS)』と、 専用センサを組み合わせたシステムを提供しています。 平坦度、厚み、形状、縦と横の層と部品配置などを 高精度かつスピーディーに測定可能。 センサも幅広く取り揃えており、 要求される測定範囲や精度に合わせて選択できます。 【FSSの特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社