真空蒸着システム　UBM Sputter

合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能

内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、 スパッタの効率を増大させた、真空蒸着システム...内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、スパッタの 効率を増大させた装置です。 ■□■メリット■□■ ■合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能 ■多様な反応性ガスによる反応性スパッタリングが可能 ■蒸着膜の厚さの均一性 ■広い面積のターゲット利用が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

真空蒸着システム　FCVA

アーク放電を利用して陰極部の物質を蒸発させ、それを表面に蒸着することが…

アーク蒸着で最も問題になるのは、イオンと一緒に発生されるμmの大きさの dropletです。 ...このdropletは薄膜の物性、特に表面の粗度を低下させるようになります。 このシステムはmacro-particleと中性粒子を取り除き、硬度、粗度などの物性を 向上させるものです。 ■□■メリット■□■ ■Dual bent duct のフィルタリングを通じてのDropl...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

ＣＡＲＢＯＺＥＮハイブリッドＰＶＤシステム

製膜スピードＵＰ＆高い密着性！導入コストや維持費も低いＤＬＣコーティン…

『CARBOZEN　ハイブリッドPVDシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。 リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。 【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■MS Windows OSベースのソフトウェア...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所