FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

溶解炉・保持炉の省エネ効果と品質向上を両立させる【軽量防熱蓋】

PR鋳造の溶解炉・保持炉の省エネ効果と品質向上を両立させる！「軽量防熱蓋」…

鋳造業界では、溶解炉・保持炉の省エネ効果と品質向上の両立が求められています。 この2つの問題を解決するために当社の「軽量防熱蓋」を 多くのお客様の鋳造現場でご利用いただいています。 軽量防熱蓋とは、溶解炉や保持炉の上部を覆うことで、放熱を抑制し、 熱効率を向上させる機能を持った蓋です。 軽量防熱蓋によって、炉内の温度が一定に保たれるため、 エネルギー消費が抑えられ、省エネ効果が生まれます。 また...

メーカー・取り扱い企業： ホンテス工業株式会社 本社

スピンドライヤー　SFH type

【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SPD-1200G

【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリ…

板やセラミックス基板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。 乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。 チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品質のスピン乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…

【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

FOUP洗浄装置

特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（1500psi）reci...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

ノズルより高圧純水をスプレー ○メガソニックによる仕上げ洗浄実行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外形寸法：W900×D645×H500 ○構造：鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋：透明 PVC　手動開閉 ○ウエハー受台：材質 PVC　真空吸着又は外周ピン受け ○流し：PVC ○ノズルアーム：1本　モーター駆動　スイング動作 ○メガソニック：950kHz　60W ○...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

700 ○回転部： →インナーカップ　アルミ、アルマイト処理 →外形φ300　密閉回転式 →スピンモーター　ACサーボモーター5.5KW →回転数　MAX3000rpm ○インナーカップ蓋： →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SRD型

【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）…

SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。 蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。 クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

1700 ○回転部 →インナーカップ　アルミ、アルマイト処理 →外形φ300　密閉回転式 →スピンモーター　ACサーボモーター5.5KW →回転数　MAX3000rpm ○インナーカップ蓋 →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タン...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社