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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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発光色を選択可能 通常の白色と目に優しい電球色
『HDW90シリーズ』は、世界各国の実体顕微鏡に装着可能。 リング内径は、55mmφと60mmφの2種類を用意。 発光色も白色と電球色を用意。 電球色は、白色と比較して、ブルーライトの波長が少ないため、 長時間作業や細かな作業時の観察による眼精疲労を軽減します。 【特長】 ■3点クランプにより、各社実体顕微鏡に取り付け可能 ■LEDの球数54個を使用した高照度タイプ ■...
メーカー・取り扱い企業: 電通産業株式会社
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リナック株式会社 日本支社