フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

大型鋳物 ターニング加工【加工事例集を進呈】

PR500～4000ミリの中・大物の工作機械、半導体製造装置などの実績多数…

工作機械、半導体製造装置・各種検査装置部品、船舶・発電機部品、専用機部品、プラント部品などあらゆる鋳物製品の切削加工を行っており、精度や外観に厳しい製品の仕上がりで定評を頂いております。 設備は大型ターニング（立旋盤）３台、五面加工機２台、門型マシニング２台、横中ぐりマシニング3台、大型5軸加工機、立形マシニング7台、平面研磨機など多彩な加工機を保有。 500～4000ミリの中・大物鋳物を高精度で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＳＳ西川機械

品種ティーチング　「ワイヤボンディング検査装置」

検査位置の指定、設定したパラメータでのテスト計測に最適。簡単操作。

品種ティーチング「ワイヤボンディング検査装置」は撮影した理想サンプルの画像を表示し、簡単なマウス操作にて検査位置の指定、設定したパラメータでのテスト計測が行えます。ワイヤ軌跡等の結果が視覚的に表示される為、確認が容易です。詳しくはカタログをダ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

高速検査　「ITO膜外観検査装置」

透明膜の線幅測定や外観検査に最適。測定範囲が広く、高速に検査。

高速検査「ITO膜外観検査装置」はフィルムやガラス基板上の透明膜の線幅測定や外観検査を行います。特殊光学系を用いる事でタッチパネルITO膜等の透明パターンの有無や、飛び散りを明瞭に撮像し外観測定いたします。詳しくはカタログをダウ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

高速測定　「シールズレ測定装置」

安価な搬送機械で高速且つ安定した測定が可能。測長精度の保証。

高速測定「シールズレ測定装置」はLCDガラスパネルのシール部とBM部のギャップ寸法を高速に測定します。搬送は連続移動にしCCDカメラを用いてストロボで静止画を得ますので安価な搬送機械で高速且つ安定した測定が可能となります。詳し...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

高精度　「カムシャフト外観検査装置」

複数の品種を切り替えて測定。操作簡単、高精度、光切断法。

高精度「カムシャフト外観検査装置」はカムシャフトの高さ形状測定を光切断法を用いて計測し、加工された基準カムシャフトとの高さを検出します。祖材基準カムシャフトとの高さを比較しキズを検出し3台の測定カメラに1対1で接続し1台の統括PC...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

光学的ストッパー機能装備　「シート抵抗測定装置」

次世代半導体デバイス用薄膜の研究開発に最適。低価格を実現。

光学的ストッパー機能装備「シート抵抗測定装置」はマイクロ4端子プローブを用いることで表面の抵抗分布を微細間隔(サブミクロン～数十ミクロン)で測定可能です。電子デバイスにおける薄膜表面の微細領域での抵抗分派測定が可能次世代の研究開発用途に限定で...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

簡単操作　「自動巻ズレ検査システム」

インライン欠陥検査に幅広く活用。各種の解析を高速で行うことが可能。

簡単操作　「自動巻ズレ検査システム」はX線画像処理により電池内部の極板巻き状態を自動検査します。正極と負極の極番を個別認識し、その個数とズレ量を自動測定します。2式の画像処理装置がペアとなり、個別にX線画像を入力して電池上下をインラインにて同時に検査します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社