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製造工程を自動化・省力化へ進化させるTAI-M solution
PR時計製造で長年培った技術を応用し、自動化・省力化をご提供!
製造工程のニーズに合わせた加工機を開発から設計、製造まで社内でおこない、 付加価値の高い装置ユニットを提供しています。 複雑形状の部品加工を可能にした二次加工NC旋盤は、用途によりパレット供給、 採品も可能なカスタマイズ設計により、合理化を実現しています。 また、自社開発の精密計測機器を搭載し、加工前後の製品測定も可能にしました。...・ライン装置 ・スタンドアローン装置...
メーカー・取り扱い企業: シチズンファインデバイス株式会社
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三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ
PR研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…
株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 小ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社/静岡市、支店/東京・沼津・中部・大阪、営業所/横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
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小型で多用途に応用可能!デバイス評価プロセスにも適応できる高機能装置で…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・ 故障解析用プロセス対応フレキシブル半導体製造装置です。 RIE/ICP-RIE, PECVD/ICP-CVDに対応し、コンパクトな機体に 多様なオプションで多用途に使えるフレキシブル装置。 企業及びアカデミアのR&D、研究室にラボス...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』
教育機関や小規模施設などに!タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システ…
『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな 卓上タイプエッチング・成膜装置です。 設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の 導入をご検討されている方にお勧め。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■装置最大サイズ ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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バッチ式化合物半導体量産機プラズマCVD・プラズマエッチング装置
フランスで設計・製造された業界最小、ウエハトレイのみ交換で2~12イン…
当社で取り扱っている、薄膜用PECVD・ドライエッチング装置 「SHUTTLELINE(R)」・バッチプロセス対応コンパクト300&500シリーズ についてご紹介いたします。 成膜はPECVD。エッチングはRIE, ICP, ICP-RIE。 ユ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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φ200mmウェーハまで対応!成膜・エッチングの両用が可能なプラズマC…
『210Dモデル』は、誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ICP)による、成膜装置です。 現場でのハードウエアの交換により、十数分の作業時間で、 誘導結合プラズマエッチング装置として使用する事が可能。 コンパクトな機体に多彩なオプションで、薄膜の堆積やトレンチのパターニング等...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに対応可能
当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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複数サイズのウェハに対応!誘導結合プラズマを使用したBosch法による…
『MDS-100/MDS-300』は、誘導結合方式を用いることで、高出力プラズマによる 安定性、均一性に優れた25枚連続処理が可能なプラズマダイシング装置です。 高い均一性を保ちながら、ソーやレーザのようなウェハへのダメージを 発生させずに処理を行うことが可能。 高速ガス切り替えシステムを用いたBosch法によって、優れた側壁形状および...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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総保有コストを減少させる事が可能!最高クラスの均一性とスループットを実…
『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 難しいエッチングプロセスや薄膜形成アプリケーションにおいて、 プロセス結果を実現できるエッチング・成膜装置です。 当製品のMarathon grids技術は、重要な要素となっており、現在お使いの 既存のシステムに設置する事も可能。 世界の多くのお客様が、grid技術で既存装置の性能を向上さ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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ICの絶縁層を除去!フットプリントが小さく、費用対効果の高いシステム
当社では、半導体故障解析用プラズマ・エッチング装置を 取り扱っております。 電気的な特性を維持するために金属層を侵食させない、マルチレベルの デプロセッシングから、金属エッチングを含む、高い選択比で損傷のない プロセスまで、RIE、IC...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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長年の経験と蓄積された加工ノウハウ!化合物半導体加工向けに1300台以…
「プラズマ加工装置」は、光化合物半導体のプラズマ・エッチング・ 成膜装置です。 研究・開発から量産とシーンに適したシステムの提供が可能。 また、光電子デバイス製造に必要な幅広い材料を扱うように設計されて...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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高いスループットを実現!大面積イオンソースと高度なモーションコントロー…
当社のイオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』を ご紹介いたします。 大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 高いスループットを実現。 特にMarathon(TM)グリッドは、従来の方式...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』
表面の単原子層のエッチング!エッチング対象物へのダメージを抑える事が出…
当社が取り扱うプラズマベースの原子層エッチング装置 『Takachi ALE』をご紹介します。 Takachiシステムは、ALEキットを搭載することにより、 ALEプロセスが可能です。 表面の単原子層毎にエッチングしていく為、エッチ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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R&D用特殊仕様から量産向けまで対応可能!一般的なグリッドと比較して約…
当社で取り扱う、「イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)」を ご紹介いたします。 標準的なエントリーモデルから、膜厚均一性等の精密な制御が可能な ハイエンドモデルまでラインアップ。企業、アカデミアでの研究開発向けに、 グローブボック...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成…
es』をご紹介いたします。 共通プラットフォームを用い、用途に応じてRIE,ICP,ICP+RIE, ICP-CVD又は、PECVDとしてコンフィギュレーションする事ができる 研究開発向け装置。 ウエハサイズは50mm,100mm,150mm,200mmです。 【特長】 ■共通プラットフォームを用いる ■RIE,ICP,ICP+RIE,ICP-CVD又はPECVD装置 ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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