フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

小型触媒式脱臭装置【運搬可能なテスト機あります】

PRキャスター付きで移動できる小型触媒式脱臭装置！触媒式だからこそ、フィル…

トルエン、キシレン、酢酸エチル等のVOC（揮発性有機化合物）ガスや悪臭を含んだ排気ガスを、 酸化分解処理することによりVOCの除去や脱臭を行う『小型触媒式脱臭装置』です。 局所排気や一時使用を可能にするため、軽量・コンパクト化を実現し、 キャスターを付けることで必要な場所へ移動させて使用できる、可搬式脱臭を可能とした装置です。 【特徴】 ・処理風量 1Nm3/min、3Nm3/min、 5Nm3...

メーカー・取り扱い企業： TESSHA株式会社

レーザ加工機用 PSA式窒素ガス発生装置「BELLSWING」

ガスコストの低減を実現する窒素ガス発生装置です。独自開発の吸着材を用い…

「BELLSWING」は、ガスコストの低減を可能にするレーザ加工機用 PSA式窒素ガス発生装置です。 稼働時間が長く、使えば使うほどガス単価が安くなります。ランニングコストを低減するため、2種類の省エネ方法をご用意しております。PSA装置は、独自開発の吸着材を用いたコンパクト設計で、設置ス...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

PSA式窒素ガス発生装置「BELLSWING S型」

従来機種比、半分の大きさを実現！エア・ウォーターのPSA式窒素ガス発生…

「BELLSWING S型」は、どこでも簡単に低価格な窒素ガスをお使いいただくため、小型・省スペースを追求した、従来比半分の大きさのPSA式窒素ガス発生装置です。自社開発の新型吸着剤により、従来の半分の空気で窒素ガスを発生可能です。 【特長】 ◆新型の吸着材により、従来の半分の空気量で窒素ガスを生成可能 ◆メンテナンスは正面方向からのみで作業...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

PSA式窒素ガス発生装置　BELLSWING　NSPタイプ

省スペース省エネ型NSPタイプです。消費電力を最大33％削減し、CO2…

PSA式窒素ガス発生装置「BELLSWING」の省スペース省エネ型NSPタイプです。ご好評いただいたSPタイプの設計思想を継承し、省スペースを保ちながら省エネ性能が大幅にアップしたランニングコストにも地球環境にも優しい設備...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

PSA式窒素ガス発生装置　BELLSWING　BPNタイプ

高性能吸着材により従来比平均50％小型化を実現しました。窒素コスト削減…

PSA式窒素ガス発生装置「BELLSWING」BPNタイプは、高性能吸着材により従来比平均50％小型化を実現した製品です。わずか42cmの隙間があれば設置を検討できます。食品・薬品・化粧品をはじめ、半田の酸化防止や漏れ改善...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

PSA式窒素ガス発生装置　BELLSWING

エア・ウォーター・ベルパールの高性能MSCとシステム化技術で、安価な窒…

PSA式窒素ガス発生装置「BELLSWING」は、高性能MSCとシステム化技術で、安価な窒素ガスを供給します。 エア・ウォーター・ベルパール MSN（Molecular Sieving Carbon）は酸素吸着量および酸...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社