フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

ツールダイナミック ツールホルダーのバランス取り装置　

振れ精度だけではダメ！高精度・高速加工に不可欠な要素であるバランスを数…

ツーリングは回転体であるためバランスが重要です。ハイマーはこのバランスに着目し、従来の加工では成し得なかった加工の安定性と生産性向上に寄与できるアイテムをトータルで提供できる唯一のメーカーです。 現代の工作機械のスピンドルスピードはここ数年で継続的に向上し、より高い切削量と利益をもたらしました。スピードアップにより、工具やホルダーの需要も高まりました。スピンドルスピードが高くなるとアンバランスの...

メーカー・取り扱い企業： ハイマージャパン株式会社