フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【導入事例】溶接工場内のプッシュプル全体換気

プッシュプル全体換気で溶接工場内の溶接ヒューム集塵！導入事例をご紹介

金属製品製造業M社では、溶接工場内にヒュームが漂い作業環境が悪く、 監督署の指導により局所排気装置などの設置が必要になりました。 工場内全域で溶接作業をしており、あちこちに点在しているため、 局所排気ではダクトの配管量が非常に多くなってしまいます。 そこで、工場内全体の換気をプッシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田工業

【導入事例】工場内の部屋を改造した密閉式プッシュプル集塵

工場内の既存の部屋を改造した大型塗装ブースの設置を提案した事例をご紹介…

いる状態でした。 当初従業員はマスクを付け作業をしていたが今回監督所からの指示もあり、 塗装ブースの導入が必要となりました。 そこで工場内の既存の部屋を改造した「密閉式プッシュプル集塵装置」を提案。 導入後は、施工前に比べて工場内の環境は大幅に改善されました。 また、メーカー汎用品の大型塗装ブースを設置する費用と比べ、大幅に コストを抑えることができ、大変好評の声をいただく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田工業