独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

冷水冷却ユニット『RDHX PRO』

PR最大限の可用性と迅速な修理に対応！より長い寿命と顧客の生産性を保証

『RDHX PRO』は、データセンターの局所的でエネルギー効率の高い 冷却を実現するよう設計されている冷水冷却ユニットです。 データセンターの局所的でエネルギー効率の高い冷却を実現、 800Wモデルで78kW、600Wモデルで59kWの冷却能力。 ツールレス、ホットスワップ可能なコンポーネントにより、 最大限のアップタイムとより長い寿命と顧客の生産性を保証。 HPCおよび温水冷...

メーカー・取り扱い企業： エヌヴェントジャパン株式会社 エンクロージャー事業部

Φ300mm基板対応　ロードロック式スパッタリング装置　

大型基板の自動搬送に対応し、研究開発～量産までの応用が可能な装置です。…

大型基板の自動搬送に対応したロードロック式スパッタリング装置です。 【主な特長】 ・Φ300mmを例とする大口径基板のベア搬送が可能 　（角基板の対応も可能です。） ・独自設計のカソード機構により、汎用ターゲットサイズでの 　広範囲膜厚分布を確保 ・ターゲット交換、成膜室の点検/補修が容易なチャンバー構造 ・将来的なプロセス室の増設も可能 ・独自の緻密膜形成ユニットをオプション...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

兼松PWS株式会社　事業紹介

半導体・液晶・電子部品製造における技術コンサルタントならお任せ下さい！

兼松PWS株式会社は、主に半導体製造・検査装置の開発、設計、製造、 販売を行っている会社です。 主な製品として、装置付帯ユニット＆パーツ「ウエハプローブ・カード」 「研磨フィルム」「Post CMP Blush」などを取り扱っております。 その他にも各種省力機器の設計製造や自社製機器および輸入半導体製造・ 検査装置の据付、保守などの技術サービスもご提供しております。 ご要望の際...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

【評価用パターンウェハー】小ロット～カスタマイズオーダーまで対応

数枚の試作加工でも問題無く受け付けており、マスクの設計から断面の寸法測…

株式会社アイテスが取り扱っている「評価用パターンウェハー」「シリコンウェハー販売」「化合物半導体」をご紹介します。「評価用パターンウェハー」は、CMP/成膜装置/洗浄装置/各種素材の評価用として、様々な構造のテスト用パターンウェハーを作成。 数枚の試作評価でも問題無く受け付けており、マスクの設計から断面の 寸法測定に至るまで、非常に柔軟な対応に定評があります。 【特長】 ＜評価用パ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

アル株式会社　会社案内

グロバールなネットワークでお客様をサポート！ALUがお届けします

アル株式会社は、1990年、薄膜部品のレーザー加工分野をサポートする 技術商社として出発し、現在まで各種ウェハープロセス装置用の光源、互換部品、 部材、表面処理部品、計測及び測定機器、研究開発用スパッタリング装置を 輸入し、キーデバイスを製造する最前線のプロセス設計技術者のみなさんに お届して参りました。 今後とも進化し続けるニーズ、例えば製造現場のFA化、超微細加工、 センシン...

メーカー・取り扱い企業： アル株式会社 本社

Hepco Motion社　高低温/真空対応ベアリング

Hepcoの極限温度範囲/真空対応ベアリングは、最も困難な環境に対応す…

許容負荷範囲：0〜8,000N 速度　　　　：0〜8m / s Hepcoの極端な温度と真空の範囲は、最も困難な環境に標準化されたリューションを提供することにより、設計エンジニアが直面する課題に対応します。 •半導体、ウェーハ処理、LCD＆有機ELパネル製造、蒸着装置などの産業および科学分野での高真空使用に適しています。 •-50℃〜+ 210℃の温度で使用可能です。 •過酷な環...

メーカー・取り扱い企業： ミワ株式会社

高性能のまま低価格を実現！『単結晶育成引上工程用ロードセル』

【ＣＺ法単結晶育成装置用】種付けから回転引上げ、インゴット完成まで重量…

単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。 回転しながら成長する単結晶の重量を正確に安定した電気出力に変換します。 チョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には独特の荷重センサを用いました。 ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

【実績紹介】半導体・液晶関連

開発から製作まで対応！ウエハ貼り合わせ装置やプラズマエッチング装置など…

当社が行った半導体・液晶関連の機械設計実績をご紹介します。 「ウエハ貼り合わせ装置」をはじめ、「プラズマエッチング装置 （半導体・液晶）」「コーター」「ローダ・アンローダ」など 多数の設計実績がございます。 開発から製作まで対応した物もありますので、 詳細はお気軽にお問い合わせ下さい。 【実績（一部）】 ■ウエハ貼り合わせ装置 ■ウエハ搬送装置 ■ウエハ梱包・開封装置...

メーカー・取り扱い企業： ケーイーエス

産業機械　製作サービス

生産ラインを構成する専用マシンや特殊な製造装置など、独創性を発揮して、…

当社の産業機械部門では、取引先メーカーとの強い信頼関係を基板に、 高度な専門機械設備やロボット装置などを一貫製作しています。 特異な技術やノウハウが必要とされるだけに、取り組む分野を、我が国の 基幹産業である自動車関連および半導体製造装置関連に限定。 これらの産業で使われる、自動車部品製造装置、シリコンウエハ洗浄器の 搬送ユニット製作等を主に手がけています。 【自動車部品製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社惠木製作所

株式会社クリエイティブテクノロジー 会社案内

くっつける技術、制御する技術、モニタリングする技術を開発！設計から製造…

クリエイティブテクノロジーは、「くっつける技術」で未来を創る会社です。 半導体製造装置の部品メーカーとして、静電チャックをはじめ、ヒーターや ウェハステージまで、設計から製造まで一貫して対応。 その技術の一部は、半導体業界だけでなく、ガラスやフィルムの搬送用途 などに応用され、FPD業界などその他の産業でも注目されています。 さまざまな可能性のある当社の技術を、どうぞ幅広くご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

【事業紹介】薄膜太陽電池

低コストで高い生産性！モジュール設計なので、顧客の要件に合わせて装置を…

当社の成膜システムは薄膜太陽電池のスタンダードも作り続けています。 PIA|novaとXENIAは、裏面電極層、透明導電膜（TCO）、そしてCIGSや CdTeテクノロジーのような様々な種類の吸収層を成膜するモジュール式を採 用した、高度な自動化装置プラットフォームです。 薄膜太陽電池メーカーとの長年にわたる提携、そして大型ガラス基板の成膜に 関して積み上げてきた経験により、生産...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

【事業紹介】モジュール式プロセスシステム

システムがモジュール式設計！テクノロジーや生産性に応じた長期的な変更に…

当社は工業生産および研究開発のためのシステムの構築で50年以上の経験を もっています。 この専門ノウハウを活かして、顧客に比較的小さな基板の真空成膜用システムを 数百台も供給してきました。 当社のモジュール式システムにより、ウェハーをベースにした製品、3次元 形状製品、バッチで成膜幅が1,000mm以下の基板、ドラム式成膜装置、 クラスター型、あるいはインラインシステムを自由自...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

ウェハー加工

「評価用パターンウェハー」「シリコンウェハー販売」「化合物半導体」のご…

株式会社アイテスが取り扱っている「評価用パターンウェハー」「シリコンウェハー販売」「化合物半導体」をご紹介します。「評価用パターンウェハー」は、CMP/成膜装置/洗浄装置/各種素材の評価用として、様々な構造のテスト用パターンウェハーを作成。 数枚の試作評価でも問題無く受け付けており、マスクの設計から断面の 寸法測定に至るまで、非常に柔軟な対応に定評があります。 【特長】 ＜評価用パ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

ダイシングシート貼り付け機『967ウエハーマウンター』

速い・簡単・使い易い！全ての標準テープに対応するダイシングシート貼り付…

『967ウエハーマウンター』は、コンパクトな卓上型 セミオートタイプのダイシングシート貼り付け機です。 プリカットテープが不要で、全ての標準テープに対応。 手動マウントに比べテープの使用量を25%節約できます。 さらに、作業モードと警報をLCD表示するほか、 高品質、高信頼性を保証します。 【特長】 ■手順管理とハンズフリー作業 ■気泡ナシ ■テーブルトップ設計 ■...

メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社