解説資料 開発元監修『見積段階から機械動作を可視化する3D構想』

PR複雑する装置仕様を見える化！受注率UPと手戻り削減に貢献する3DCAD…

機械設計向け3次元CAD「iCAD SX」の開発元が監修しました。 複雑化する装置仕様の摺合せが難しい理由や問題点を洗い出し、 "装置仕様（動き）の可視化"について解説した資料を無料進呈中です。 　【資料概要】 　　■製造業を取り巻く環境と、装置の複雑化 　　■仕様説明時における取組と課題、目指す姿 　　■打ち合わせ初期から一連の動作フローを可視化する効果 　　※ 本ページのPDFダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： i CAD株式会社 - 機械設計向け3DCAD（3次元CAD）開発元 -

エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

廉価版ナノ粒子製造装置『UFP-AT-300SS型』

超微粒子・ナノ粒子を手軽に製作可能！リース対応もＯＫでリーズナブル！

廉価版ナノ粒子製造装置『UFP-AT-300SS型』は、 金属のナノ粒子を手軽に製作できる、少量多種に適した製品です。 特にAg、Sn、Bi、Cu、Znの製作がとても簡単に行えます。 月額のリース対応も可能で...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

各種金属・合金・セラミックに対応！『超微粒子・ナノ粒子製造装置』

無公害でローコスト！超微粒子の発生速度を上げ、効率よく補修！※特許出願…

『超微粒子・ナノ粒子製造装置』は、強制蒸発現象を利用して超微粒子の発生速度と発生量を増やし、さらに効率よく補修できる製品です。 超微粒子の発生部と捕集部はパイプで連結された閉鎖型で、さらに強制蒸発用のガスは作業終了まで循環...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

JOYO 製造ライン製作実績　真空貼合装置

搬送やセパ剥離機構などを含めた製造ラインの製作実績が多数ございます。

LCD貼り合せ装置、LCDセルギャップ形成装置のトップメーカーとして、 各種材料とプロセス条件に対応した多くの特殊装置を製作してまいりました。...これまでに培ったノウハウをもとに、ご要望に沿った製造ラインを製作いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

ハステロイ 半導体製造装置 真空部品【Oリング溝加工】

ニッケル系難削材の加工なら今橋製作所にお任せください！

本製品は半導体製造装置に使用される真空部品です。材質はハステロイC-22で、サイズは12×60×100です。 今回加工した製品は難削材であるハステロイを切削加工しました。本製品はOリング溝加工を施しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社今橋製作所

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により…

境下での使用に十二分に耐え、 狭い場所での作業や短時間での作業などに特に有効に働いています。 またステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの装置で 数多くのモデルが半導体製造装置で採用されています。 ■下記のような環境下でも使用出来るコネクタをお探しの際は是非お問合せ下さい。 ・高密度 ・小型同軸 ・非磁性 ・高電圧シールドコネクタ：最大50kVDC対応...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社

真空装置　設計・製造サービス

実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造し…

当社では真空装置の設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後の プロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応しております。 「こういう形の物に膜をつけられる装置」、「こういう事が出来る装置」など、 ご要望をお聞かせいただき、適切な装置をご提案させていただきます。 一から設計しますので、お手持ちのポンプをご支給いただいたり、 このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC

超微粒子・ナノ粒子製造装置

対象材料は、各種金属・合金・セラミックなど広範囲！乾式なので清浄なナノ…

『超微粒子・ナノ粒子製造装置』は、水素（アルゴンとの混合）や 窒素などのガス雰囲気中で、材料をアーク溶解することにより強制的に 蒸発させ、超微粒子・ナノ粒子を作製することを目的に開発されました。 超微粒子・ナノ粒子...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

ナノ粒子製造装置『UFP-AT-300SS型』＜廉価版＞

金属・合金を原料に！アーク放電法H2-Ar中生成方式のナノ粒子製造装置…

『UFP-AT-300SS型』は、希望する金属のナノ粒子を自社で簡単に作製できる 廉価版ナノ粒子製造装置です。 少量多種のナノ粒子作製に好適で、特にAg、Sn、Bi、Cu、Znは簡単に作製可能。 直流ア－ク電源は300A、循環ポンプは100L／minとなっております。 ご用命の際はお気...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品を お客さまへ提供し、市場の発展に貢献してまいりまし...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ディスプレイ製造装置向けのリフトピン

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

ディスプレイ製造装置向けのリフトピン お客様のご希望に合わせ、高品質の製品をご提供いたします。 各種各様の素材・規格に対応可能でございます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェイド 韓国全地域

事業紹介　薄膜製造装置の販売

実験用・少量生産用機から、大容量加工機まで可能な薄膜製造装置

ユーザーの立場より開発された薄膜製造装置は、ジョブコーターとしての経験をふんだんに装置に織り込み、ユーザーの立場で設計し、お客様とディスカッションしながら組み上げていく「オーダーシステム」をとっています。小型の実験用・少量生産用機から、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ncc

真空装置　設計・制作サービス

真空装置・真空蒸着機の設計製作なら当社にお任せください

当社では、量産型真空蒸着機・大規模真空プラントなど、さまざまな 真空装置の設計・製作を行っております。 お客さまの「ほしい設備」の条件・イメージから、真空のエキスパートが 設備設計し製作・アフターフォローまで、真空装置のすべてをプロデュース。 その他、研究開発用・教育用小型真空装置設計製作や真空周辺装置の 設計製作、 真空装置用部品の製造・販売などを取り扱っております。 【...

メーカー・取り扱い企業： マシン・テクノロジー株式会社

●コンプレッサ・真空ポンプ兼用『DP0102』

小型コンプレッサ・真空ポンプ兼用『DP0102』は耐久性が高く、メンテ…

ダイアフラム式コンプレッサ・真空ポンプの『DP0102』は、主に組み込み装置の用途で設計された国内製造のコンプレッサ・真空ポンプ兼用としてご使用できます！ ダイアフラム式コンプレッサ・真空ポンプは、より信頼性を必要とする医療器、分析器などの機器組込み用のエア源・真空源として好適で、様々な分野での導入実績もあります。 この他にも、同シリーズで幅広い流量や圧力・真空度に対応したポンプを取り揃えており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社CSP（シーエスピー）

大型製缶

分割構造であればW8m×L16m×H7mまで対応可能！お客様より高い評…

▲▼▲大型製缶の外注先でお悩みではありませんか？▼▲▼ 当社は、20tクレーンをはじめとした、豊富な設備と技術を持った職人により、最大20t、陸送最大サイズ、分割構造であれば W8m×L16m×H7mまでの大型製缶加工を可能としており、高精度、高品質仕上げが特徴です。 電力設備、空調設備、食品設備、特殊機械装置、特殊車両などの筐体製造を 試作段階から数多く手掛けており、大型製缶加工...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ショウエイ 本社

吸込側から空気が混入しても稼働できるガリックスポンプ

吸込側から空気が混入しても差し支えなし！残水を残さず、吸い切りが出来る…

がリックスポンプは空気と液体が混ざっても稼働できるポンプです。 洗浄装置の吸引・排水やタンクや槽からの引抜きに最適です。 【特徴】 ◆吸込側からの空気混入も差し支えなし ◆残水を残さず、吸い切り可能 ◆自吸時間が早く、吸引に最適 ◆吸水弁の必要なし ◆高温液の吸引も可能 ◆モーター直動タイプなので、芯出し不要 【詳しくはカタログダウンロードまたはお気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 西垣ポンプ製造株式会社 本社

管球排気装置

ベーキングのための上下機構付電気炉を備えた8ヘッドの管球排気装置

当社では、紫外線ランプ・ハロゲンランプ等の製造に欠かせない 管球排気装置を取り扱っております。 岩崎電気株式会社様をはじめとする多くのランプ製造メーカーに 多種多様の管球排気装置を納入。また当社の排気装置は日本全国の ネオン管製造メーカーに納入実績がございます。 操作を全て手動で行なうものから、タッチパネルを使用して全自動で 排気作業を行なうものまで、用途・予算のご希望に応じて...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社新島真空工業研究所

真空ポンプ用高性能オイル浄化装置『サン・オイルクリーナー』

特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・汚染物を同…

大成技研の『サン・オイルクリーナー』は、半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにしており、油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸を中和、ゴミやパー...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

真空ポンプ保護装置　HOコレクター

PET樹脂のシートやフィルムの製造工程用オリゴマーコレクター

エイチアールディー株式会社がご提供する「HSコレクターシリーズ」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムで、ドライ式真空ポンプとのセットで御社の環境対策活動を推進し、ISO14001取得に大きく貢献します。 PET樹脂のシートやフィルムの製造工程においては多量の水分とオリゴマーが発生します。標準の｢HSコレクター｣でも捕捉可能ですが、｢詰まり｣が早くなります...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

アトーテック株式会社　会社案内

真空ポンプをはじめとした真空機器、真空装置のことならお任せください！

アトーテック株式会社は、金属材料工学と真空工学を基盤技術とし、 真空ポンプをはじめ、ナノ粒子（超微粒子）製造装置、真空バルブ、 真空計、真空部品の取り扱い、真空装置の設計製作を行っている会社です。 これまで様々な真空装置やナノ材料創製装置等の開発、製造にたずさわり、 特に真空熱処理装置は多くの納入...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応し…

PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■取付...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

中型真空プラズマ装置【ワンタッチで簡易な操作性】

表面改質に特化した大型真空プラズマ装置！ワンタッチの簡単な操作性で初心…

表面改質に特化した大型真空プラズマ装置です。 ワンタッチフルオート機能、及び、オートリーク機能を搭載しているため、取扱が非常に容易で、真空機器初心者でも扱えます。 AC100Vのコンセントで動作しますので、様々な状況での使用が可能となります。 また大変メンテナンスが容易です。又、チャンバーサイズはご要望に合せて作らせて頂きます。...■大面積！φ400、A4サイズの処理対応 ■家電感覚の使用感 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

カスタムメイド装置／改造／メンテナンス／DLCコーティング

お客様のアイデアを具体化して、オリジナルの装置や改造などをご提案いたし…

アイゲート株式会社では、真空装置の『カスタムメイド装置／改造／ メンテナンス／DLCコーティング』を承っております。 設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後のプロセスサポート、改造、 メンテナンスまで対応。 また、当社製以外の装置に関する改造、メンテナンス、移設などにも 幅広く対応しております。 【特長】 ■設計、製造、納入までを一貫して実施 ■納入後のプロセスサポ...

メーカー・取り扱い企業： アイゲート株式会社 本社

総合カタログ　真空蒸着装置

機種選びから消耗品供給、アフターフォローまで安心して任せられる万全のフ…

当カタログは、真空蒸着装置の製造・販売の専門メーカーである 株式会社クラフトの総合カタログです。 (※株式会社プロスタッフは、株式会社クラフトを販売メーカーとし、 　 プロスタッフは製造部門として一翼を担っております。) 自動真空蒸着装置[オーダーメイド]CAPシリーズといった製品の掲載を はじめ、メンテナンスメニュー・加工品の紹介など幅広く掲載しております。 【掲載内容】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プロスタッフ

規格品装置　グローブボックス／ガス循環精製装置

グローブボックス、ガス循環精製装置のことならお任せください。

型対応 ○自動調圧機能により、グローブ作業が容易 ＜ガス循環精製装置＞ ○コンパクト＆エコノミータイプ ○短時間でガス精製可能（水分、酸素） ○貴金属触媒とＮｉ触媒の選択が可能 ○製造装置に対応し、連続使用が可能（ダブルカラム型） ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下 ）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【用途】 極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装置 • クリーンルーム内の製造装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

空気と水を一緒に吸えるガリックスポンプ SVS型 ※デモ機あり

空気の混入があっても液体の移送が可能！送液で最終的に空気が混入してしま…

ガリックスポンプ「SVS型」は空気と液体が混ざっても稼働できるポンプです。洗浄装置の吸引・排水やタンクや槽からの引抜きに好適です。 【特徴】 ・吸込側からの空気混入も差し支えなし ・残水を残さず、吸い切り可能 ・自吸時間が早く、吸引に好適 ・高温液の吸引も可能 【デモ機について】 デモ機の貸出しをしておりますので実際にお試しください。 ご希望の方はお気軽にお問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業： 西垣ポンプ製造株式会社 本社

真空レギュレータ

超高感度な真空レギュレータ。大気圧近辺の低真空域も確実に制御

ー製品は複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により感度特性は31Pa～127Paと超高感度です。 ー当製品は分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御等様々な用例にご利用頂いております。 ー使用方法は二種ございます。一つは真空容器の外側に配管し、大気若しくは正圧を真空側に送出する方法、若しくは真空容器と真空ポン...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

半導体向けドライポンプとオンサイトサービス

SEMICON Japan 2023でサブファブ向け最新ソリューション…

日本ブッシュは「Your Complete Sub Fab Partner（あなたのサブファブ・パートナー）」をテーマに SEMICON Japan 2023に出展し、半導体製造プロセスにおける安定性、安全性、効率性を支援するソリューションをご紹介します。 【みどころ-1】 ハーシュプロセスにおいて従来比２倍の耐久性を誇るドライポンプや、当社特許取得済みのガス除害装置など、最新の真空テクノ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

真空技術とFAの要素技術を融合！設計・製造からサポートまで対応

重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。また、各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...【製品】 蒸着膜形成装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

【納入事例】真空タンク及び真空攪拌装置

制御・工事も一式当社で完結！真空タンク及び真空攪拌装置の納入事例をご紹…

大手重電メーカー様より、ITER向け超伝導コイル用樹脂注入装置一式を 受注しました。 当社採用の決め手は「装置設計、製造、制御、工事が全て一式出来る」 という事が評価されました。 絶対真空100Paという真空に耐えれるよう、真空タンクを製作。 容量は400L程度ですが、清掃が容易になるよう、フランジで 二分割できるよう設計。 天面には目視で攪拌状況が確認できるよう窓をつけ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイチツー

●小型ダイアフラム式液体ポンプ『DPE-400』

ダイアフラム式液体ポンプ『DPE-400』はDC駆動で独自の脈動吸収機…

ダイアフラム式液体ポンプの『DPE-400』は、独自の脈動吸収機構を内蔵した低振動の液体ダイアフラムポンプです！ 小型で設置スペースをとりませんので、化学分析装置や医療機器の液体搬送に好適です。 自吸式のため呼び水不要。 気体ポンプ、真空ポンプとして使用できます。 この他にも、同シリーズでブラシタイプ・ブラシレスタイプ、幅広い流量や真空度、電圧、耐久時間に対応したポンプを取り揃えております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社CSP（シーエスピー）

感度特性バツグン！『真空制御用レギュレータ』

繰返し性に優れ、広領域の真空制御を実現！配管から外さずに保守も可能！

れ、安定した制御を実現！ 複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により 感度特性は125Paと超高感度です。 分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、 半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御など多用途で活躍しています。 使用方法は2種類で、 真空容器の外側に配管し、大気または正圧を真空側に送出する方法と、 真空容器と真空ポンプ間のバイパス系に...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

株式会社AlphaPlus　取扱製品紹介

真空部品や真空システムの販売などを行っています。

株式会社AlphaPlusは、韓国にある真空部品や真空システムの販売などを行っている会社です。 各種蒸発源や各種の超高真空装備に使用されるイオンポンプなどの「真空部品」、各種蒸着機、金属や無機物薄膜製造に使用されるスパッタリング蒸着機、ベーパライゼーション蒸着機などの「真空システム」、多くの金属や無機物薄膜製造に使用される「スパッタリングガン」などを取り扱っております。 【取扱製品】 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AlphaPlus

株式会社飯島機械製作所　事業紹介

熟練の技術と確かな品質が信頼の証。

藤沢市辻堂にあります株式会社飯島機械製作所では、ガス精製装置をはじめ、グローブボックスの設計・開発から納品･設置までを一貫して行なっております。 株式会社飯島機械製作所では、パッケージ売りの製品造りではなく、それぞれのお客様の多様なニーズにお応えするオリジナルの製品造りを主とし、迅速な対応とニーズに正確に応えられる創造力、さらに豊富なノウハウと実績、確かな技術力でお客様に厚い信頼と高い評価を頂い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社飯島機械製作所

真空拡散接合装置

さまざまな金属などを拡散接合！微拡散接合装置や高周波加熱式拡散接合炉を…

アトーテックで取り扱う真空拡散接合装置をご紹介いたします。 金属などを原子レベルで接合させる「微拡散接合装置」は、当社の真空技術を 使用して設計・製造。同じ材料同士の接合や異なる材料の接合が可能です。 また、「高周波加熱式拡散接合炉」は、短時間で効率良く拡散接合を 行うことができ、φ30までの各種金属類の拡散接合にご使用いただけます。 【微拡散接合装置 仕様】 ■加圧方式：...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

実験用高真空装置

納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応！ステンレス製真空…

当社で取り扱う『実験用高真空装置』をご紹介いたします。 チャンバー材質はステンレスで、チャンバー容量は約26.5L。到達真空度は 1×10-4Pa以下です。 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて 装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■チャンバー材質：ステンレス製 ■チャンバーサイズ：幅400mm×...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC

SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ

真空コンポーネント部品総合カタログ。NW・ICFやJIS VG/VF規…

『SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ』は、NW規格フランジ・ICF規格フランジ・JIS VG/VF規格フランジなどの真空部品を掲載したカタログです。 半導体製造装置・液晶製造装置・有機EL製造装置において欠くことのできない真空配管、ガス配管などの製品も掲載しております。 【掲載製品】 ○NW規格（NW Standard） ○ICF規格（ICF St...

メーカー・取り扱い企業： 湘南丸八エステック株式会社

低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

超音速フリージェットPVDの開発・製造【導入事例配布中】

薄膜の厚みを調整することができる超音速フリージェットPVDの開発と製造…

芝浦工業大学で薄膜の研究をする湯本淳史准教授。薄膜の厚みを調整することができる超音速フリージェットPVDの開発と製造をアトーテックに発注。希少な装置を使いながら実用化の方向を探る芝浦工業大学湯本准教授にアトーテックの評価をお聞きしました。 【成果】 ■規格品の改良ではなく、一からの開発な為、見積が出てこない企業もあった。 ⇒渡辺社長は研究者な為、仕様の提案なども可能 ■「図面通りに...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

製品カタログ　真空装置

FCCLや透明導電膜、脱ガスなどをラインアップ

。 マルチチャンバー方式を採用することにより生産量に応じたレイアウトが 可能な「FCCL」をはじめ、1000mm以上の広幅の成膜が可能な「透明導電膜」、 アモルファスシリコン系太陽電池の製造装置として納入実績のある「各種電池」 などをご紹介しております。 【掲載内容】 ■FCCL ■透明導電膜 ■脱ガス ■各種電池 ■光学多層膜　など ※詳しくはPDFをダウンロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒラノK&E

受託加工

精密金属加工技術や装置生産技術によりお客様のニーズにお応えします

フェローテックでは、真空シールや結晶装置で培った精密金属加工技術や 装置生産技術によりお客様のニーズにお応えします。 各種金属加工、電気炉製造や真空装置の組み立てなどエレクトロニクス業界 のほか、他の業界からのご要望も幅広く承ります。 当社グループでは、10数年の実績があり、どんな加工、装置でも受託生産 致します。 【受託加工例】 ■金属加工 ■電気炉製造 ■真空装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲート…

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

真空スイッチ　（端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチ）

精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として好適

にくい構造になっています。 電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて動作感度の高い構造になっております。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。 配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外形φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和電機製作所

各種装置

スパッタ・アッシャー複合機や水素吸蔵機能材料評価装置など、各種装置をご…

しております。 スパッタ・アッシャー複合機をはじめ、飲料プラントや高純度ケミカル供給装置、 エキシマ照射装置など、各種装置をご用意。 目的に合せたグレードの高いガス供給技術は、半導体製造装置メーカーから 高い評価をいただき、これらの技術は医療や飲料業界などの分野にも裾野を 広げています。 【各種装置】 ■スパッタ・アッシャー複合機 ■高純度ケミカル供給装置 ■飲料プラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット