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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR非破壊検査・X線検査等の装置製造・利用・研究ごとの目的に合わせた遮蔽ボ…
当社では、病院・企業様向けのエックス線防護BOX(X線防護BOX)や X線装置を操作する作業従事者の安全を守る工業用防護衝立の 製作から設置までを自社で一貫生産、一貫管理で行っています。 基本的には装置とセットになっているX線遮蔽・防護箱ですが、 用途によっては既設の遮蔽ボックスでは対応ができず、困られたことはあるかと思います。 当社では、非破壊検査・X線検査等の装置の研究・製造場面や装置を利...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社高橋興業
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UV-LED光源!半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…
当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置(マスクアライナー)です。 弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。 露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機~フル...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…
当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、 オリフラ位置の位置合わせを行ったうえで アンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! 【特長】 ■低価格を実現 ■2~8インチまで対応可能 ■フットプリントの低減(省スペース化) ※詳しくは、お...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
【特長】 ■低価格を実現 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応 ■2~12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能(例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)Maskaligner
簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能…
当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。 フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。 ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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