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16件 - メーカー・取り扱い企業
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大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1
軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ
-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード...リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-7 mbar Is-1 (< 1 × 10-8 Pa m3 s-1) バルブ閉方向のバルブボディおよびゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1 bar (≤ 1 × 10 -5 Pa...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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特別な四角型のベローズカップです。小荷物のハンドリングおよびレイヤー全…
・特別な四角型のベローズカップです。小荷物のハンドリングおよびレイヤー全体のデパレタイジング向けです。 ・カップは、その形状から、互いに非常に接近させて取り付けることが容易で、優れた吊り上げ力を発揮します。 ...
メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社
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フルジャケットや多角形型も！ステンレス加工・溶接技術を用いた真空チャン…
東洋ステンレス化工ではステンレス化工・溶接技術を用いて、真空装置の 主要部品となる内部を真空にするための容器『真空チャンバー』を取扱っています。 用途に合わせて円筒型、角型はもちろんフルジャケットや多角形型等も製作！ 完成後には真空チャンバーの微小な穴やシール不良を検知する 「リークテスト」を実施しています。ヘリウムだけを検出できる分析管を 備えたヘリウムリ...
メーカー・取り扱い企業： 東洋ステンレス化工株式会社
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角型ゲートバルブ（超大型）
１０世代に対応したバルブです。 安定した性能をもち、納入先のお客様よりご信頼をいただいております。 ...１０世代に対応したバルブです。 安定した性能をもち、納入先のお客様よりご信頼をいただいております。 ...
メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社
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開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 開口サイズ: 50 ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…
-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミット...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8
短い開閉時間による高いスループット
-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン ...開口サイズ 50 × 500 mm～100 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい...開口サイズ: 50 × 500 mm～300 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！
当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】 〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバ...
メーカー・取り扱い企業： ナカンテクノ株式会社
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金属線を使用していない汎用タイプの膨張黒鉛パッキン！
『ピラーNo.6114』は、有機繊維で補強した膨張黒鉛の編糸を、 断面角型に編組した、金属線を使用していない膨張黒鉛パッキンです。 膨張黒鉛編糸の表層は、シール性、摺動性などの性能を最大限に 発揮させるため特殊潤滑剤が強固に処理されています。 【性能】 ■...
メーカー・取り扱い企業： 日本エクセル株式会社
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甲山や角、甲丸等の各種ガスケットも、様々な材質と寸法で提供させて頂きま…
JIS B2290真空フランジの溝に装着するガスケットです。現在の規格ではOリングのみとなっていますが、旧規格で定められていた角型や甲丸型、また、一般的に多く利用されている甲山型などが今でも使用されています。...
メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社
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小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介
『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご...
メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社
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材料手配からHeリークテストまで1社で対応致します。
丸型真空チャンバー、角型真空チャンバー、多面体型真空チャンバー、異型真空チャンバー、水冷ジャケットのあるものや、二重ジャケットのもの、等様々な真空チャンバーの製作に実績があります。...
メーカー・取り扱い企業： ステンレスジョイント株式会社
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冷却温度1.6K～77K、冷却面φ3.12"～14"と、幅広い選択肢！
却デュワー – HDLシリーズ 冷却温度： 1.6K～4.2K 冷却板有効径（インチ）： 5.00、8.00、10.00、12.00、14.00 ※冷却板のサイズは拡大できます。また、角型に変更することも可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム
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甲丸や甲山、角等の各種ガスケットも、様々な材質と寸法で提供させて頂きま…
JIS B2290真空フランジの溝に装着するガスケットです。現在の規格ではOリングのみとなっていますが、旧規格で定められていた角型や甲丸型、また、一般的に多く利用されている甲山型などが今でも使用されています。...
メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社
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角や甲山、甲丸等の各種ガスケットも、様々な材質と寸法で提供させて頂きま…
JIS B2290真空フランジの溝に装着するガスケットです。現在の規格ではOリングのみとなっていますが、旧規格で定められていた角型や甲丸型、また、一般的に多く利用されている甲山型などが今でも使用されています。...
メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社
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