【半導体分野へご提案】表面検査装置・レジスト・精密位置制御

弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提…

【表面検査】 ◆原子間力走査型電子顕微鏡（AFM&SEM in situ測定） by Quantum Design North America ◇原子間力顕微鏡（AFM） by Nanosurf ◆散乱型近接場光赤外顕微鏡（Na...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

【DL可STEM/EDS】STEM/EDSによる半導体絶縁膜評価

STEM-EDS観察は半導体のPoly-Si(ポリシリコン)間の絶縁膜…

STEM(走査型透過電子顕微鏡 )とEDS(エネルギー分散型Ｘ線分析装置)では細く絞った電子線を試料上で走査することで、試料の組成に関する情報（原子番号を反映したコントラスト像）が取得できます。 加えて以下の特長もあります。 ・電子線の入射角度を変えることで、回折コントラストの変化を観察 ・観察対象が結晶質であるかの判断 ・結晶内にある結晶欠陥（転位、双晶等）の情報の獲得 本事例では...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社