高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半導体・センサパッケージング＆カメラモジュールの開発・製造

PR半導体・センサパッケージングや半導体モジュールの開発・試作、小中規模量…

当社では、半導体ベアチップ実装、マイクロ接合技術による小型実装モジュールの開発から、 小中規模の量産までワンストップでサポートします。 カメラの受託製造も承っています。 こんなことでお困りの方、お気軽にお問い合わせください！ 【モジュール開発・実装技術開発サービス】 ■実装基板の小型化をしたいが専門化がいない。 ■新たに実装工法を開発したい。 【試作サービス】 ■原理試作・エンジニアリングサ...

メーカー・取り扱い企業： マイクロモジュールテクノロジー株式会社

超高真空フランジ(真空部品)『ICFフランジ』

シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの…

当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。 当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用 フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。 専用の...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空バリアブルリークバルブ

全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節…

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からの...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『超高真空ビューイングポート』

広く鮮明な有効視野！透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があり…

『超高真空ビューイングポート』は、真空容器内を外部より観察するための のぞき窓です。 コバールガラス、または合成サファイアとコバールを封着したものを ICFフランジに溶接しているので、10^-...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空L型オールメタルバルブ

優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能

『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる 全金属製の製品です。 バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベロー...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…

を真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■経済的 ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作る...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『電流端子』

超高真空領域まで使用可能！熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れていま…

Fフランジに溶接した、 各種『電流端子』を揃えております。 これらの端子は、絶縁特性がよく機械的および熱的に丈夫で、 しかもリークのおそれがないという特性を持っています。 そのため、超高真空装置や熱的負荷の大きい装置に用いられ、 高い信頼性を得ています。 【特長】 ■実績あるロー付け技術とICFフランジにより、高温のベーキングに対応 ■熱的特性・機械的特性・電気的特性...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水…

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません

9 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして 適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。 【特長】 ■超高真空領域用 ■大気混入なし ■優れた許容加熱...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ICF付接続部品(フィッティング・アダプタ)

ICFフランジ付きで超高真空まで使用可能！種類が豊富ですので、用途に合…

装置を組み立てるにあたり、配管接続のためいろいろの素子を用います。 当社の取り扱う接続素子は、ICFフランジで接続する系列のもので、 超高真空装置本体およびそのあら引き系に使用されています。 フイッティング、メタルアダプタ、ガラスアダプタ、φ15アダプタの ラインアップがあります。 【特長】 ■種類が豊富 ■用途に...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』

部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管…

『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』

高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で…

データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

【特長】 ■単極双投接点を備えている ■作動圧力の上限または下限において、ON・OFF2点制御信号が得られる ■真空側はすべてSUS-304を使用 ■大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『直線導入機』

構成部品はすべて非磁性体！真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…

『直線導入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中での リークの心配がありませ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社