【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

超小型加速度センサ

4機種をラインアップ！センサ自重の影響を軽減する事でより精度の高い計測…

富士セラミックスでは、超軽量・超小型加速度センサを4機種 ラインアップしています。 アンプ内蔵型1軸加速度センサ「SAR11SCG」をはじめ、 プリアンプ内蔵型3軸加速度センサ「SA11ZSCA」や 電荷出力型...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士セラミックス

防水型アンプ内蔵3軸加速度センサ

アンプ内蔵型3軸加速度センサにおいて防水型を実現

『SAW11ZSA』『SAW12ZSA』は、超小型防水3軸加速度センサです。 プリアンプ内蔵型、 超小型・軽量(10mmキュービック)、 防水構造IPX7相当、 標準感度/高感度の2種類 【ラインアップ】 ■標準感度「SAW...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士セラミックス