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PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…
Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット(アクチュエータ)が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のTダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Tダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...
メーカー・取り扱い企業: 伊藤忠マシンテクノス株式会社
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脱炭素を目指す『出光カーボンオフセットfuel(ICOF)』
PR燃料油を使用しながらCO2排出量のオフセットが可能!カーボンクレジット…
出光カーボンオフセットfuel(ICOF)は、 ガソリン、灯油、軽油、A重油にカーボンクレジットを付与した商品です。 普段通り燃料油を使用しながら、CO2排出量のオフセットが可能。 初期投資なしでスピーディーに導入でき、既存設備の変更も要りません。 オフセットの割合を4つのプランから選択できます。 【特長】 ■プラン(100%・50%・10%オフセット)は注文ごとに選択可能 ■J-クレジットを...
メーカー・取り扱い企業: 出光リテール販売株式会社
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各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…
板回転併用) ・基板加熱機構: ●ランプヒータ 常用400°C ※オプション ・排気系: 1) ターボポンプ 2) ロータリーポンプ ● ドライポンプ ※オプション ・最大ガス導入量: 1) Max.50sccm(Ar) 2) Max.10sccm(O2) 3) Max.10sccm(N2) ・ターゲットサイズ: φ2インチ ・チャンバーベーキング: ● 110...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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