金属 | イプロスものづくり

絞り込み条件

製品分類

メーカー・取扱い企業

【置くだけでサビ止め】気化性防錆剤パック『ベルゾン』

PR防錆剤が気化し、梱包内の金属製品をサビから保護します。油を塗らずに…

防錆剤が気化して、金属の表面をサビから守ります。気化性防錆剤と金属製品を一緒に置くだけなので、とてもお手軽な防錆方法です！完全密閉は必要なく、ある程度の密閉でOKです。 ■気化性防錆剤のご使用方法錆びさせたくない金属部品と気化性防錆剤を一緒に密封するだけです。 (箱に入れる、袋をかぶせる等) ■気化性防錆剤の仕組み 1. 防錆剤が気化します。 2. 防錆剤が密閉空間内...
メーカー・取り扱い企業：大和化成株式会社
異物混入防止！食品グレードプラスチック製エアダスター

PR食品への異物混入防止対策に好適！本体からシールまで金属・X線検出可能か…

セインは世界市場初導入となる、金属およびX線検出可能な100％食品グレードのプラスチック製ブローガンを販売開始しました。予期せぬコンタミネーション、不適合品、費用のかさむリコールや廃棄物のリスクを低減し、食品の安全を向上させます。また、金属製のエアガンと比べ、プラスチック製のため軽量で使いやすく、温度変化が少ないため低温の加工室でも冷たくならないという利点があります。 • 大流量設計...
メーカー・取り扱い企業：セインジャパン　株式会社
【分析事例】プラスチック容器の表面金属汚染評価

XRFによる高分子材料中不純物の組成・分布評価

法です。特徴として測定に際して特殊な前処理が不要であり、1.2mm～数cmの広範囲において、非破壊で測定できる点が挙げられます。 XRFによる元素分析事例として、薬品保存容器の高分子材料に含まれる金属成分に着目して測定を行い、保管期間中に容器表面に付着した金属汚染について調査した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】金属材料の蛍光X線分析事例

金属組成評価として、始めにXRF分析での元素スクリーニングをお勧めしま…

元素分析を行う際、まずはXRF分析を用いて非破壊で対象に含まれる元素を調べてから詳細な分析に移っていくことで、効率の良い評価計画を立てることができます。本事例では、金属切断用の刃を対象としてXRF分析を行ったデータを紹介します。 mmオーダーの広範囲にて面分析を行うことで材料中の金属元素の分布をおおまかに調べ、特徴的な箇所のXRF点分析結果から元素組成を算出する...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察

InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

Csコレクタ（球面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。 ※High-Angle Annular Dark-Field：原子...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】SiO2中のアルカリ金属の深さ方向分布評価

試料冷却による高精度なアルカリ金属の分布評価

SiO2中のアルカリ金属の分布を一般的な分析条件で測定すると、測定に起因する電界などの影響により、深さ方向濃度分布に変化が生じることが知られています。 MSTではSIMS測定時に試料を冷却することでアルカリ金属の濃度分布...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【事例】GCIBを用いたSiO2中アルカリ金属の深さ方向濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。今回、スパッタイオン源に...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価

XPS：X線光電子分光法

XPS分析ではX線照射により得られた光電子のエネルギーを観測することにより、物質表面の結合状態評価を行います。金属元素が酸化状態にあるかどうかの評価はもちろん、酸化によるエネルギーシフト（ケミカルシフト）が大きい元素では、複数の価数の存在、及び存在割合についての評価も可能となります。以下に、複数価数評価可能な主...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。今回、スパッタイオン源に...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価

ppmオーダーの微量金属も評価可能です

各種材料の特性を設計・制御するにあたって、母材に微量含まれている元素の種類や量、またそれらの存在状態を明らかにするのは非常に重要です。このうち元素の種類や量に関してはSIMS(二次イオン質量分析法)やICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析法)などによって評価可能ですが、価数・化学結合状態などといった存在状態の評価には放射光を用いたXAFS(X線吸収微細構造)測定が有効です。本資料では測定例としてセ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

た物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa2O3膜の表面近傍について、金属元素の定量分析を行った事例を示します。 TOF-SIMSでは極浅い領域でも高感度に評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】金属(Sn)の昇温脱離ガス分析

低融点金属のTDS分析

Snは半導体の製造でも使用されるはんだの主原料として用いられています。はんだ中のガスはボイド発生の原因となるため、はんだやその主原料であるSnの内包ガス量を制御することが重要です。TDS分析にてSnを融点を超える温度まで昇温し、脱離したガスについて調査した結果を以下に示します。試料を融点以上に昇温することで、試料の表面吸着成分や内包ガスの成分について評価することが可能です。...詳しいデータは...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】SiN膜中の金属汚染評価

ICP-MSによる高感度分析

Siウエハ上のSiN膜（Si3N4）を溶解した溶液中には、着目している不純物金属元素以外に膜由来のSiマトリックスが含まれています。そのため、溶解した溶液そのものでは精度よく高感度分析ができません。そこで、Siウエハ上のSiN膜を溶解後、別途処理を施すことでSiマトリックス...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Siウエハ表面の金属汚染評価

ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法

ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染評価の目的には、Siウエハ自体の汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。ICP-MS分析ではSiウ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】成膜成分のウエハ裏面への回り込み評価

ベベル部近傍にて金属成分の定量的な評価が可能

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点からウエハ裏面に残留する金属を除去することが求められており、金属成分の残留量を定量的に把握することが重要です。ベベル部から500umの範囲で裏面に残留する金属濃度分布を調査するため、TOF-SIMSを用いて評価を行いました...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析

微小領域を狙った測定が可能

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、金属部材上に付着した異物の成分をRaman分析により評価した結果をご紹介します。 Ramanは約1μmの微小領域の測定が可能であり、狙った箇所の分子構造や結晶構造に関する情報を得られることから、まばら...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】雰囲気制御下での有機金属錯体の定性分析

酸化の影響を受けない条件でTOF-SIMSによる質量分析が可能です

チタンテトラアルコキシドは、香月・シャープレス不斉エポキシ化に欠かせない試薬であり、大気下では酸化の影響を受けます。今回、チタンテトラアルコキシド（チタンテトライソプロポキシド）について、雰囲気制御下と大気暴露後において、どのように変化するかTOF-SIMSを用いて調べた事例を示します。 MSTでは雰囲気制御により、大気酸化の影響を受けずに錯体の評価が可能です。測定法：TOF-SIMS ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
分析事例】XRDを用いた負荷印加前後における金属材の残留応力測定

非破壊で引張・圧縮応力を定量することが可能です

残留応力測定は部材が様々な応力条件下に耐えられるかを調べる重要な方法の一つです。XRD（X線回折法）では、格子面間隔を測定することで残留応力を求めることが可能です。本資料では引張試験用にアルミニウム板の左右をＶ字加工した試料を作製し、引張試験用装置で引張負荷を印加する前後の残留応力の比較および、印加後の試料で残留応力の分布を確認した事例について紹介します。なお、残留応力値はsin2ψ法を用いて求め...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】金属膜の高温XRD評価

昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価

Pt をSi 基板にスパッタ蒸着させた試料に対して、昇温させながらOut-of-plane XRD, In-plane XRD 測定をそれぞれ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し、半価幅が小さくなり、結晶化が進行していることが分かりました。また、温度が上昇するにつれ、熱膨張によりピークが低角度側（格子間隔が広がる方向）にシフトしていることを確認でき...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価

複数手法の分析結果より、複合的に評価

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、Siウエハ表面に付着した汚染をICP-MSとSWA-GC/MS※で複合的に分析した事例をご紹介します。 ※SWA（シリコンウエハアナライザー）-GC/MSとは、ウエハごと電気炉で加熱して有機物をガス化し、GC...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】AI技術を用いたCT画像のアーチファクト低減

AI技術でCT画像のメタルアーチファクトを低減し画像解析精度を向上！

X線CT測定ではサンプルの三次元構造を非破壊で観察することが可能です。しかし、X線ビームを使用する性質上、金属を多く含むサンプルの測定においてはメタルアーチファクトと呼ばれる暗い線状の虚像が発生することがあり、内部構造の測長や画像解析における妨げとなります。本資料では試料の材質情報と物理モデルを...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価

TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

大気下におかれた金属銅（Cu）の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。市販の標準品である「Cu2O」「C...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】積層セラミックコンデンサ(MLCC)の加熱SSRM

誘電体内の伝導パス(絶縁劣化箇所)の可視化

積層セラミックコンデンサ(MLCC)は、内部電極(金属)/誘電体層(絶縁体)/内部電極(金属)の積層構造を有するコンデンサです。MLCCの問題の一つとして高電界かつ高温下における誘電体層の絶縁劣化(低抵抗化)、つまり電極間ショートがあります。誘電体層内...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】結晶Si太陽電池の不純物評価

金属元素および大気成分元素の極微量分析

結晶Si太陽電池の基板成長からセル形成までの各工程で必要とされている不純物量制御のための評価法として、高感度分析による元素濃度測定をご提案します。金属元素はppb以下、Hを含む大気成分元素についてはppm以下の濃度まで計測可能です。測定法：SIMS・ICP-MS・エッチング・解体製品分野：太陽電池分析目的：微量濃度評価・製品調査 ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】IGZO（粉末・バルク・薄膜）の組成・不純物分析

主成分及び金属不純物元素の定量分析

TFT材料として研究開発が進んでいます。 IGZOは薄膜の組成や膜中の不純物量で特性が変化する材料であり、組成・不純物の情報を得ることは重要です。今回は薄膜の原料であるIGZO粉末の主成分及び金属不純物元素量について、ICP-MSを用いて高精度に評価した事例を紹介します。粉末に限らずバルク・薄膜でも分析可能です。...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】IGZO薄膜のXAFSによる局所構造解析

酸化物半導体中、金属元素の価数・配位数・構造秩序性の評価

スプレイ用TFT材料として研究開発が進められていますが、TFT特性の安定性の面で実用に課題が残されております。この課題を解決するためにはIGZO成膜メカニズムの解明が重要です。IGZO薄膜について、金属元素の電子状態およびその局所構造を、放射光を用いたXAFS解析によって明らかにすることでIGZO成膜メカニズムに関する知見を得ることが可能です。 Zn-K 端XAFSスペクトルよりIGZO薄膜の局...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】TDSによる銅板・はんだの同時加熱分析

部材同士を接触させ、実プロセスに近い環境での脱ガス評価が可能

はんだを用いた金属の接合は、エレクトロニクス分野において欠かすことのできない工程のひとつです。金属とはんだが接触した状態で加熱した際の脱ガスは、ボイドの原因となることが知られています。以下に、銅板にはんだを乗...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】TDSによるステンレス中水素脱離量の分析

TDS（昇温脱離ガス分析法）で金属中水素の脱離量の評価が可能です

鋼材など多くの金属材料は、常温で結晶格子内を拡散する拡散性水素により劣化（水素脆化）することが知られています。今回は水素を添加したステンレス板（SUS316L）について、TDSで水素の脱離量を評価した例を示します。1...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察

金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です

on Microscope：SIM）は固体試料にイオンビームを照射し、発生する二次電子を検出する手法です。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じるため、SIMによってCuやAlなどの金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を簡便に得ることが可能です。本資料では測定例としてCu表面をSIMによって観察した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】金属ワイヤー中の不純物評価

SEMと同等の視野で大気成分などの不純物の面内分布を可視化

SIMS分析はウエハや基板以外にも様々な形状の試料に適用可能です。本事例では、ワイヤー中の不純物分布を評価した事例をご紹介します。ワイヤー側面から深さ方向に不純物分布を評価した結果（図2)H、O、F、S、Clなどの不純物プロファイルには深さに応じて強弱があり、ワイヤー中に局在していることが示唆されます。ワイヤー断面の元素マッピングを行った結果（図3）ワイヤー中に不純物が局在している様子を...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる・金属結晶粒観察が可能（Al, Cu等) ・分解能はSEM像より劣る（SIM：4nm, SEM：0.5nm） ■MST所有装置の特徴・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
研究開発を強力サポート　「受託分析サービス」

お客様からお預かりした材料・製品の受託分析を行います。前処理から測定ま…

STでは各種材料や研究の受託分析、受託解析、受託評価サービスを行なっています。知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案！確かな品質と安心のサポートで、お客様に疑問を残しません。半導体・金属・電池などのエレクトロニクス分野、医薬品・化粧品・食品などのライフサイエンス分野の受託分析・受託解析に幅広く対応します。・分析手法のご相談から承っております。・分析費用のお見積りもお...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
ご希望者全員プレゼント！表面分析の基礎と受託分析事例

〈XPS・TOF-SIMS〉表面分析とは何か・表面分析の種類等、基…

広域定量マッピング　　　・XPSによるDLCの評価　　　・リチウムイオン二次電池におけるLiの結合状態別定量　　　・プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査　　　・ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価　　　・ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価　　　・粘着シートによる電子部品の汚染評価　　　・ニッケルめっき剥離面の評価　　　・ポリカーボネートの劣化層の評価　...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

数μm～数十μm）のデポジション薄膜形成が可能（C・W・Ptの成膜）・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM（Scanning Ion Microscope）像観察が可能・SIM像で金属結晶粒（Al, Cu等）の観察が可能...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
非破壊分析サービス　2018年4月より開始のお知らせ

樹脂やカーボン素材等、有機系の分析に強い装置を揃えました。

工・分析装置を導入し、非破壊分析の受託サービスを開始します。 ●X線CT X線照射により試料内部構造の二次元透過像を取得。試料を回転させた連続撮影データから、三次元CT画像を生成します。金属材料はもとより、樹脂やカーボン素材等の有機系素材に威力を発揮します。 ●超音波顕微鏡試料に超音波を照射し、その反射波を検出。超音波は空気層で強い反射を起こすため、試料内部の空隙やクラックの...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［AES］オージェ電子分光法

試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量の評価

m）の定性・定量が可能・微小領域（数十nm～サブミクロン程度）の定性・定量が可能・主成分元素の深さ方向分析・線分析・面分析の測定が可能・SiやAl等、幾つかの元素については酸化物状態及び金属状態の評価が可能・SEM像による着目箇所の特定が可能...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［UPS］紫外光電子分光法

試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に

UPSは、紫外光照射により放出される電子の運動エネルギー分布を測定し、試料極表面（数nm程度以下）の価電子状態に関する知見を得る手法です。その一方で、高いエネルギー分解能を利用して各種金属材料の仕事関数評価にも用いられています。 XPS分析と併せて測定が可能なため、試料表面組成の定性・定量や結合状態と仕事関数値との相関を調べることが可能です。...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】二次電池正極活物質の構造評価

活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能

M）の構造評価として、EBSDにより一次粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行い、軽元素（Li,O）の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属（Ni,Co,Mn）の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。測定法：SEM・EBSD・TEM 製品分野：二次電池分析目的：形状評価、構造評価、製品調査 ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

な工業製品・部品として使用されています。腐食に強い材料ですが、経年劣化や加工処理によって表面不動態皮膜の組成に変化が生じると不具合の原因につながります。今回、TOF-SIMSを用いてステンレス表面の金属酸化膜の状態について分析した事例をご紹介します。TOF-SIMSでは酸化物状態として分子情報を高感度に得ることで、表面数nm～数十nmの酸化物の分布を得ることができ、イメージ分析によって空間的な分布...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】量子化学計算によるアゾベンゼン類の電気化学特性評価

電池などに用いられる有機化合物の酸化還元特性・電子状態を予測・評価

還元活性を有する芳香族アゾ化合物は、アルカリイオン電池やレドックスフロー電池において現在主力の金属活物質を代替する低環境負荷の次世代有機活物質として注目されています。電池性能の評価には、実験に加えシミュレーションを用いた物質の電子構造や酸化還元特性の検討が有用です。本資料では、量子化学計算に...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】リチウムイオン二次電池バインダの成分分析｜受託分析

熱分解GC/MSによる有機成分の同定

リチウムイオン二次電池は、金属、無機から有機物質、固体から液体と多種多様な材料が使用されています。各材料の物性や組合せはデバイスの特性・信頼性に大きく反映されますので、材料の正確な解析・評価が必要となります。今回、リチウムイオン...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析

SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価…

pb(約5E13atoms/cm3)以下の濃度まで検出可能です。実際のFZ-Si中における測定例（図1）とIII-V族半導体のバックグラウンドレベルを紹介します（表2）。III-V族半導体以外にも、金属膜・絶縁膜など各種材料で標準試料をとりえ揃えており、高感度な定量分析が可能です。半導体基板など各種材料のバルク分析や半導体プロセス中のガス成分の混入評価などに最適です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Si表面のH終端の解析

処理の違いによるSi表面のSiHや状態の定性・相対比較

Si表面についてHF処理後、オゾン処理後の状態を比較しました。正イオンスペクトルではSiのピーク強度が異なりました。HF処理後のSi強度が弱いのはSiが金属系のためで、一方、UV-オゾン洗浄後やAs ReceivedのSi強度が強いのはSiが酸化物系のためです。負イオンスペクトルからは、HF処理後ではSiF,SiH,Six系、UV-オゾン洗浄後や...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】クリームはんだ中フラックスの成分分析

クリームはんだ中のロジン、チキソ剤、活性剤などを網羅的に定性します。

クリームはんだ（ソルダーペースト）は金属粉末と松ヤニなどから成るフラックスとを混合したペースト状のはんだで、電子部品を基板上に実装する際に用いられています。はんだフラックス中には、溶剤や活性剤、ロジン、チキソ剤などといった低分子～中・高...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機EL素子中不純物の深さ方向分析

有機EL素子を深さ方向分解能よく評価

有機EL素子の長寿命化には、エレクトロマイグレーションによる劣化の評価が必要なため、電極金属成分の有機層への拡散の状態を調べることが重要です。しかしながら、陰極側から直接分析しても、陽極側からSSDP法*により分析しても、深さ方向分解能が低下し、界面から有機層への拡散を評価することは困難で...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】クリーンルーム内有機化合物の評価方法

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

晶などの製造が行われているクリーンルームでは、パーティクルだけでなく分子レベルの化学汚染（分子状汚染）を把握することが重要です。浮遊分子状汚染物質としては酸・塩基性ガスや凝集性有機物質、ドーパント、金属などが挙げられ、成分に応じて分析方法は異なります。ここでは凝集性有機物質の詳細と、代表的な捕集方法である“吸着剤捕集”と“ウエハ暴露捕集”について紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】リチウム二次電池負極表面の劣化評価

大気非暴露で前処理から測定・観察まで行います

容量低下が見られるリチウムイオン二次電池負極表面を大気非暴露で評価した結果、100～200nm程度のCoを含む付着層が確認され、Coは金属状態であることがわかりました。適用可能な手法観察手法：FIB‐TEM, SEM 表面分析：SIMS,XPS,AES,TOF‐SIMS その他構造評価等も可能です。測定法：SEM・FIB・...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機EL素子の成分分析

Slope面出し加工された有機多層構造試料のTOF-SIMS成分分析

XPSで4層の異なる有機化合物(或いは有機金属錯体)で形成されていると推定された有機EL素子（図1）について、TOF-SIMS分析を行いました。多層構造試料についてはスパッタを併用した深さ方向分析も行われますが、今回は構成成分の結合を壊さずに測...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機ふっ素化合物（PFOS・PFOA等）の分析

製品中・排水・環境水の分析に対応可能です

有機ふっ素化合物は、界面活性剤、金属めっき処理剤等様々な用途で使用されています。そのうち、ペルフルオロオクタンスルホン酸（PFOS）は、製造・使用・輸出入を制限する残留性有機汚染物質に関するストックホルム条約（POPs条約）の対象物質...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価

SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定

へのボロンの突き抜け量を評価しました。基板側からの測定ではノックオンなどの影響が見られず、より正確な突き抜け量評価が可能であることがわかります。このように、バリアメタルのバリア性・Low-k膜中への金属の入り込み・凹凸のあるシリサイド直下の評価にSSDP-SIMSが有効です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】注射針表面のコーティング膜評価

撥水膜・塗膜・皮膜の分布状態や被覆状態の可視化

医療用注射針は金属管の表面にシリコーンをコーティングすることで、穿刺抵抗を低下させ患者の身体的負担を低減させています。針の性能を保つためには、全体がコーティング膜に覆われていることが重要です。注射針先端の開口部分につ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】TFT配線交差部の深さ方向分析

微小領域・ガラス基板についてもSSDPによる分析が可能

レイのデータ信号配線とゲート電極配線の交差部（4μm×10μm）を、基板側から分析（SSDP-SIMS）した例を示します。基板側から測定（SSDP-SIMS）を行うことにより、表面側の高濃度層や金属膜などの影響がないデータの提供が可能となります。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価

多点マッピング測定により膜厚分布を可視化

蛍光X線分析（XRF）では、元素分布や膜厚の簡便な評価が可能です。本事例では、金属薄膜の評価事例として、4inchのSiウエハ上のAuの膜厚分布について多点マッピング測定をした事例をご紹介します。多点マッピングを行うことで、各点のXRFスペクトルよりFP(Fundament...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】AFMデータ集

AFM :原子間力顕微鏡法

AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価

水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可…

金属の異物を定性評価したい場合、最表面のみを分析すると異物表面に存在する酸化膜の情報となってしまうため、異物そのものの情報が得られないことがあります。 TOF-SIMSにより深さ方向に分析を行うことで、酸化膜より深い位置にある異物そのものの組成・状態評価が可能です。本資料では、Al系の異物と思われる3箇所の状態を評価した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】CIGS粉体の組成・不純物分析

主成分および微量成分の定量分析が可能

CIGS薄膜太陽電池のフレキシブル化・低コスト化を目指した開発において、光吸収層の低温形成プロセスや非真空下プロセスが必要とされており、CIGS組成の成膜方法の最適化や金属汚染量の制御が重要になっています。今回は原料となるCIGS粉末の組成・含有不純物濃度について、ICP-MSを用いて高精度に評価した事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［ICP-MS］誘導結合プラズマ質量分析法

導結合プラズマ（ICP）を励起源として用いた無機元素分析の手法です

アルゴンプラズマは、高周波電流の流れる誘導コイルを巻いた石英3重管にアルゴンを流すことで得られ、非常に高いガス温度、電子温度を持つため、多くの元素に関して90％以上のイオン化が可能です。多くの金属は＋1価のイオンとして質量分析計に導入されます。天然に存在する元素は、一定の同位体組成を持っているため、各m/zに現れるイオン強度をスキャンすることで含有元素の定性分析を行うことができます...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】溶液中の金属量調査

純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です

ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、各種対応でき、分析する金属元素の濃度...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】AFMによる注射針の表面微細構造観察

表面のコート膜の状態を評価できます

注射針等の金属加工面は一般的に粗くなりますが、粗い表面のまま注射針を使用すると、患者に不快感を引き起こす事が知られています。そのため、注射針には表面が粗い事による表面摩擦を抑えるために、生物学的不活性なシリコーン...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】毛髪内部の金属分布評価

TOF-SIMS分析を用いた毛髪断面の成分分布評価

ケア・染色の影響を調べる際に有効です。同一人物から白髪・黒髪を採取し、内部の成分分布を評価した事例をご紹介します。毛髪の断面を作成し、TOF-SIMS測定を行いました。TOF-SIMSでは、金属などの無機物や有機分子の分布情報が得ることができます。今回は毛髪断面における金属の分布に着目して測定を行いました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】環境中微量金属元素分析

ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法

クリーンルームや生産ラインなどの環境中に浮遊する金属元素は、製品に付着・混入することで、製品の性能悪化の原因となり得ます。ICP-MSでは、清浄なSiウエハで暴露試験を行い、表面に付着した金属元素量をpptレベルで測定することができます。なお、事...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST