研究開発を強力サポート　「受託分析サービス」

お客様からお預かりした材料・製品の受託分析を行います。前処理から測定ま…

CP-MS　誘導結合プラズマ質量分析法 ほか ○光電子分光法 XPS　X線光電子分光法 UPS　紫外光電子分光法 ○電子顕微鏡観察・分析 AES　オージェ電子分光法 SEM　走査電子顕微鏡法 EBIC　電子線誘起電流法 ほか ○振動分光 FT-IR　フーリエ変換赤外分光法 Raman　ラマン分光法 ○X線回折関連 XRD　X線回折法 SAXS　X線小角散乱法 XRR...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

STEM(走査型透過電子顕微鏡)分析法

極小に絞った電子ビームを試料に照射！試料内部の原子像分布・形態などを画…

当社で行っている「STEM(走査型透過電子顕微鏡)分析法」について ご紹介いたします。 原子像やサブnmオーダーで物質の構造を捉えることが出来、 明視野観察で構造情報を、暗視野像やHAADF像観察で物質の密度・ 元素情報を得ることが可能。 また、物質界面などの極微小領域での結晶状態・結晶方位を直接的に 観測することが出来ます。 【特長】 ■原子像やサブnmオーダーで物質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック

医薬品業界向け！電子顕微鏡による『ウイルス安全性試験』

透過型電子顕微鏡による安全性試験！長年積み重ねてきた経験と実績がありま…

花市電子顕微鏡技術研究所では、電子顕微鏡による『ウイルス安全性試験』の 受託を行っております。 GLP/GMPに準拠した厳正な管理の下、ウイルス安全性試験を実施。 例としてCHO細胞を使用してバイオ医薬品を製造する場合、ICH Q5A,Q5Dに 基づいた試験項目におけるレトロウイルス否定試験において、電子顕微鏡 観察の実施が必要とされています。 当社では、長年積み重ねてきた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所

3D顕微鏡　3Dプリンターの製品確認

3Dプリンターの製品確認　材料学も3Dの時代へ！　組織観察過程を全自動…

さまざまな材料にも適用できる3D顕微鏡です。 コンピュータ制御により、組織観察、研磨機、洗浄、エッチングを 繰り返し全自動で行え、高効率で　3D組織像　が得ることができます。 従来、手動で繰り返し行っていた機械研磨と光学顕微鏡観察を全自動化することで、数ヶ月要していた作業を1日で終わらせることができます。...【特長】 ●金属組織の３D像を＜2～3ヶ月 → 1日＞で取得 　手動で数ヶ月か...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中山電機

『X線・超音波を用いた非破壊分析の基礎と事例』※希望者全員に進呈

非破壊分析の手法（超音波顕微鏡法・X線CT法）の基礎的な解説や、代表的…

実際の分析事例や、分析手法の基礎的な解説を掲載した冊子を ご希望の方全員に無料でプレゼント中です。 【掲載内容（一部）】 ■X線・超音波を用いた非破壊分析の手法紹介 　・超音波顕微鏡法 　・X線CT法 　・in situ X線CT測定 ■分析事例 　・炭素繊維強化プラスチック（CFRP）内部の繊維配向解析 　・発泡ウレタン内部の空隙率評価 　・発泡ゴムの引っ張り試験...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【解析事例】ネガティブ染色法によるトリアデノウイルスの観察

×100,000 TEMで解析！風邪の主要病原ウイルスと言われ、直径約…

当社が行った『トリアデノウイルス』の解析事例をご紹介します。 アデノウイルスは、風邪の主要病原ウイルスと言われ、 直径約80nmの球状粒子です。 ネガティブ染色法により、表面のスパイクが観察できます。 【解析概要】 ■解析対象：トリアデノウイルス ■アデノウイルスは、風邪の主要病原ウイルス ■直径約80nmの球状粒子 ■ネガティブ染色法により、表面のスパイクが観察可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所

［SEM］走査電子顕微鏡法

高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。 ・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能 ・二次電子（Secondary Electron;SE）像、反射電子（BackScattered Electron;BSE）像、透過電子（Transmitted Electron;TE）像の観察が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SEM-ECCI法による転位観察

金属材料中の転位の観察にはTEMが用いられてきましたが、SEMを用いた…

金属材料の変形や破壊のプロセスの本質的な理解には、転位の状態を可視化することが重要となっています。従来、金属材料中の転位の観察にはTEM（透過電子顕微鏡法）が用いられてきましたが、近年ではSEM（走査電子顕微鏡法）による観察も試みられていました。今回、当社でもこのSEMを用いた転位の観察ができるようになりました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

クライオ電子顕微鏡ハンドブック

2017年ノーベル化学賞に輝いたクライオ電子顕微鏡に関する知見を体系的…

研究者、技術者のためのクライオ電子顕微鏡設置機関とそのサービス内容も紹介...「クライオ電子顕微鏡ハンドブック」 ■体裁：B5判 460頁 ■定価：54,000円＋税 ■監修：難波啓一、加藤貴之、牧野文信 ■発行：エヌ・ティー・エス 序 章　 クライオ電子顕微鏡が切り開く構造生命科学の新展開 第1章　クライオ電子顕微鏡三種の神器 第2章　試料作製技術 第3章　単粒子解析～撮影...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス

SiCパワートランジスタリーク箇所のSlice&view故障解析

SEM像の3D化でリークパスを確認

裏面エミッション顕微鏡でリーク箇所を特定したSiCトランジスタについて、Slice＆Viewによる断面SEM観察を行いました。Slice＆Viewでは、リーク箇所周辺から数十nmオーダーのピッチで断面観察を行うことにより、リーク箇所を逃さず画像として捉えることが可能です。SEM画像を3D化することでリークパスを確認することができます。 測定法：Slice＆View・EMS 製品分野：パワーデバ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

分析事例トレンチ型Si-MOSFETのIDSSリーク箇所複合解析

デバイスの不良箇所特定から要因解析までワンストップでご提供

パワーデバイスでは、高電圧がかかるゆえの配線の不良や電気的な不良が生じます。また製品の信頼性向上のためには、不良要因の特定および解析が必須となります。本資料では不良箇所の特定をEMS(エミッション顕微鏡法)を用いて行い、不良要因解析をSCM(走査型静電容量顕微鏡法)とSEM（走査型顕微鏡法）で評価した事例をご紹介します。 測定法：EMS,SCM,SEM 製品分野：パワーデバイス 分析目的：故...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能 ・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる ・金属結晶粒観察が可能（Al, Cu等) ・分解能はSEM像より劣る（SIM：4nm, SEM：0.5nm） ■MST所有装置の特徴 ・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能 ・FIB（集束イオンビーム）加工との組み合わせで連続的な断面SI...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法

ナノオーダーでの元素分析・状態評価・粒径解析・三次元立体構築像の取得

TEMは、薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。 ■長所 ・サブナノレベルの空間分解能で拡大像が得られ、試料の微細構造・格子欠陥等を観察・解析可能 ・試料の結晶性を評価し、物質の同定を行うことが可能 ・ＦＩＢで試料作製することにより、デバイス内の指定箇所をピンポイントで観察することが可能 ・オプション機能を組み合わせること...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

静電破壊した橙色LEDの不良解析

良品と静電気（ESD）破壊品の輝度・特性の比較、EMS顕微鏡による発光…

当社では、静電破壊した橙色LEDの不良解析を行っております。 ESD試験にて破壊され、発光強度の低下したLEDはエミッション発光と IR-OBIRCH法を用いて解析し、不良現象を明らかにすることが可能です。 「良品と静電気（ESD）破壊品の輝度と特性比較」や「エミッション 顕微鏡による発光解析」などの事例がございます。 【解析例】 ■良品と静電気（ESD）破壊品の輝度と特性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】SiCパワートランジスタリーク箇所の成分分析

Slice＆Viewで特定したゲート破壊箇所で拡大観察やEDX分析が可…

裏面エミッション顕微鏡でリーク箇所を特定したSiCトランジスタについてSlice＆Viewを行い、破壊を確認した箇所で拡大観察とSEM-EDX分析を行いました。反射電子像で明るいコントラストが見られる場所では、SiやNiの偏析が確認されました。リークによる破壊に伴い、SiやNiなどが一部偏析しているものと考えられます。 測定法：Slice＆View・SEM-EDX・EMS 製品分野：パワーデバ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 201904-02 セルロースナノファイバー構造解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 CNFを扱う研究開発のうち、ほぼすべての材料分野、研究フェーズで電子顕微鏡を用いた観察は必要な評価となっている。特にポリマー中に分散するCNFをTEM観察するためには、これまで高分子材料のTEM試料作製を実施する上で不可欠であった「電子染色」の技法を駆使する必要がある。今回、CNFを用いた複合材料の形態観察事例を紹介すると共に、CNF自体の観察事例、構造解析例として13C核 固体NMR...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

［ED］電子回折法

EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を…

EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。 ・物質の結晶学的情報が得られます。 透過電子顕微鏡の場合、単結晶では規則正しく並んだ回折斑点(スポット)、多結晶では同心円状の円環、非晶質ではブロードな円環状の電子回折図形となります。 ・透過電子顕微鏡で観察される微小領域の結晶構造を調べることができます。 ・結晶構造とEDX法での元素分析結果とを組...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

初心者向けオンライン講座(e-learning)【形態観察】

形態観察を基礎から学びたい方向きの講座です。 SEM、TEM、球面収差…

形態観察を基礎から学びたい方向きの講座です。受講期間中、本講座に関する質問を受け付けております。 以下について、易しく、コンパクトに解説しています。 形態観察手法について ・　 走査型電子顕微鏡（SEM）：原理、試料作製法、分析例 ・　 透過型電子顕微鏡（TEM）：原理、試料作製法、分析例 ・　球面収差補正走査透過型電子顕微鏡：原理、分析例 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 ・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能 ・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能...■使用する探針 シリコン単結晶ウエハを加工して作られた鋭い探針で試料表面を走査します。先端径は10nm未満にまで加工されています...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

EMS分析（エミッション顕微鏡法）

故障箇所を迅速に特定

EMSは、半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。EMMS、PEM、EMIとも呼ばれます。 ・測定波長領域（可視域から近赤外域）に対して透明な材料のみ評価可能 ・クラック・結晶欠陥・ESDによる酸化膜破壊・Alスパイクによるショートなどの内部の欠陥を低損傷で捉えることが可能...発光源としては、空間電荷領域でのキャリアの電界加速...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

Arイオンミリング加工

機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ5…

Arイオンミリング法とは、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。...1．貼り合わせ サンプル同士もしくは支持基板とを接着剤で貼り合わせます。 2．切断 数mmの厚みで切り出します。 3．研磨 機械研磨を行い、貼り合わせ界面が中心になるように薄くします。 4．Arイオンミリング ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託分析評価サービス

長年培ってきたノウハウを活かし好適な分析手法をご提案します！

当社では、卓越した分析力と先進の分析設備で、迅速・的確に お客様のニーズにスピーディーにお応えする『受託分析評価サービス』を 提供しております。 単に結果を得るために分析するのではなく、その結果から課題解決の 指針を見いだすことを常に念頭に置きながら、経験豊富な技術者集団が 先進の分析機器・分析技術、今まで培ってきたノウハウを活かし、 好適な分析手法をご提案いたします。 【分...

メーカー・取り扱い企業： メルコセミコンダクタエンジニアリング株式会社

【解析事例】病原性大腸菌O-157

集団食中毒の原因菌のひとつとして知られるようになった菌を×30,000…

当社が行った『病原性大腸菌O-157』の解析事例をご紹介します。 "O-157"は近年集団食中毒の原因菌のひとつとして知られるようになった菌で、 この菌の持つベロ毒素産生機序の解明が急務とされています。 細菌類は細胞の周りに細胞壁を持ち、固定液などの薬品類の浸透が困難。 試料作製法は基本的に動物組織と同様ですが、それぞれの処理時間を 長くしたり、固定の時には室温で行うことによって...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所

ロックイン発熱解析法

ロックイン発熱解析法は、電流経路中の僅かな温度上昇を検出します

・IR-OBIRCH機能も合わせ持ち、発熱箇所特定後、IR-OBIRCH測定により、故障箇所をさらに絞り込むことができます。 ・赤外線を検出するため、エッチングによる開封作業や電極の除去を行うことなく、パッケージのまま電極除去なしに非破壊での故障箇所特定が可能です。 ・ロックイン信号を用いることにより高いS/Nで発熱箇所を特定でき、Slice ＆ Viewなど断面解析を行うことができます。.....

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

SSRMは、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。 シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。 ・ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能 ・半導体のドーパント濃度分布計測に有効 ・半導体の極性（p型/n型）の判定は不可 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 201902-01 DPC-STEMを用いたポリマー

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 走査透過型電子顕微鏡（STEM）の測定手法の一つである微分位相コントラスト（DPC）-STEMは、微小部の電場を測定することが可能である。我々は、本手法をポリマーアロイに適用することで、従来の電子顕微鏡では観察が困難な相分離構造のコントラストが出現することを見いだした。 【目次】 １．はじめに ２．元素分析によるソフトマテリアルの可視化 ３．DPC-STEM法の適用 ４．おわ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【分析事例】電子回折の種類と特徴

TEM：透過電子顕微鏡法

透過電子顕微鏡での電子回折法は、試料への電子線の入射の仕方によって3つに分類されます。それぞれの特徴とデータ例を示します。評価対象物のサイズや分析目的に応じて、適切な手法を選択する必要があります。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［C-SAM］超音波顕微鏡法

C-SAMは、試料の内部にある剥離などの欠陥を非破壊で観察する手法です…

C-SAMは、SAT：Scanning Acoustic Tomographyとも呼ばれます。 ・X線CTによる観察では確認が困難な「電極の接合状態」や「貼り合わせウエハの密着性」などの確認に有効。 ・反射波のほか、透過波の取得も可能。...音波を用いることから試料の光学的な性質に左右されず、試料表面だけでなく、表面下の内部構造も非破壊で観察する事が可能です。空気との界面での反射が大きいこ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM

Scanning Microwave Microscopy

SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。 ・Si デバイスの場合、1015～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【MFM】磁気力顕微鏡法

MFMは、磁性膜でコートされたプローブを用いて、サンプル表面近傍に生じ…

・サンプルの磁気特性の情報を定性的に取得可能 ・漏洩磁場による引力・斥力をイメージング可能 ・漏洩磁場の勾配の大きさに比例した磁気力の信号を得られるが、定量評価は不可 ・AFM像の取得も同時に取得可能...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST