FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

円筒内面の鏡面研磨・洗浄・バリ取りの自動研磨機による解決事例集　

ブラスト装置で円筒内面の鏡面研磨・洗浄・硬質膜除去や内面溝バリ除去が簡…

円筒の内面研磨でお悩みの方必見です！ ブロワブラストを使いながら吸引を利用し、簡単に内面を研磨する事が可能です！ 円筒の内面処理研磨や 内面バリ、内面の精度を短時間で仕上げます！ ～硬質膜除去や内面溝バリ除去その他、新しい可能性も秘めている画期的なソリューション～ 加工の工程を見直すことにより、生産効率を上げることは可能です！ お客様のご要望に合う条件を見つけ、ご提案致します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 三共理化学株式会社