リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

高密度保管ピッキングシステム『オートストア』　※GTP方式

99.7％のシステム稼働率を達成(全世界システム平均)！驚異的な柔軟性…

『オートストア』は、環境への配慮と省エネに貢献した超高密度の 自動保管およびピッキングシステムです。 驚異的な柔軟性とスピードを提供でき、お客様は今日のオムニチャネルの デジタル経済において一歩先を進み、成功を収めることが可能。 また、当...

メーカー・取り扱い企業： フィブイントラロジスティクス株式会社