コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出力 ■4つのエミッション電流設定モード ■省スペース・低消費電力 ■安全性と環境に配慮した製品でRoHSおよびCEマーキングに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ピエゾコントロールバルブ　CV-3000 series

気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです

ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。 【特長】 ○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能 ○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

流量センサ

高精度・高速応答！双方向での流体計測も可能。

流量管理や圧力センサでは難しい小型ワークの吸着確認が可能。...●ニードル弁一体型を用意： 流量調整可能なニードル弁がセンサと一体になっており、配管の手間がかかりません。また、省スペース設置が可能です。 ●パネルマウント可能： パネルマウント用ブラケットもラインナップ。パネル開口部1つで密着取付けができるため、複数台使用時の工数削減、省スペース化が図れます。 ●ツイン表示/2色表示機能：メ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』

部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管…

『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■優れた測定安定性 　・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空発生器　VMECA 「タートルポンプ」

真空発生器ＶMECA「タートルポンプ」Vメカ真空カートリッジ(多段式エ…

『VMECA　タートルポンプ』 タートルポンプは、大流量、高効率な高真空ポンプです。 VMECA独自の技術による、超軽量で高効率の多段式真空カートリッジ（国際特許取得）を内蔵した新しい概念の真空ポンプです。 【特長】 ○真空発生器＋真空フィルタ一体化構造（特許デザイン）▷ 費用節減・早い応答速度 ○大吸入流量 ▷ 通気性ワークにも安定的なハンドリング、大容積の真空用途に有利 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

真空計測機器「絶対圧力計　AVG-300」

大気圧までの真空度測定と制御に適した「絶対圧力計」

読み取り安いデジタルLED表示で、測定レンジがHiレンジ（0.10～20.00kPa）とLoレンジ（0.1～133.3kPa）から選択可能な絶対圧力計です。 ±0.25％FS±1digと高精度な上、受圧素子がSUS316Lのため耐食性に優れているのが特長です。 【特長】 ■測定レンジがHiレンジとLoレンジから選択可能 　Hiレンジ 0.10～20.00kPa　　Loレンジ 0.1～1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

バルブ『TOYOOKI真空バルブ』

chuhatsu真空装置専用の高性能真空バルブ！

【特長】 ■高応答ソレノイドと高速作動回路の組合せにより0.007秒の高速遮断を実現 ■圧抜き回路によるアクチェータ動作で高速作動を実現 ■油圧方式の採用により真空ラインの遮断力を強化(1,000N) ■ch...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中央発明研究所

太陽電池・二次電池製造工程向け　真空用機器ラインナップ

太陽電池、二次電池製造工程に最適な真空用機器揃いました！

「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする、太陽電池製造工程、二次電池製造工程、半導体関連、クリーン環境向けに使用材質を変更した『銅系金属不使用仕様（-S3仕様）』をラインナップしました。...【製品ラインナップ】 ■真空発生器　単体タイプ 圧縮空気を真空に変化させ、真空パッドと組み合わせることでワークの搬送に利用できます。 ■真空発生器VXタイプ・真空ポンプ対応ユニットVXP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

ビームシャッター機構 「KBS-01」

シャッタースピードは、空圧調整バルブ(標準付属)にて任意に可変可能

ビームシャッター機構は、駆動系に電磁弁制御式のエアシリンダーが装備されており、応答速度の素早い遮断動作・開放動作が可能です。 本製品は、ルビジウム(Rb)やナトリウム(Na)などの原子線ビームを、遮蔽及び開放するシャッター等にて使用されます。 【仕様】 ○シャッター動作スピード　30～800mm/s ○シャッター動作ストローク　0～20mm ○取付けフランジ　ICF-70（スルーホー...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

真空エジェクター：- EJ-MLG-LARGE

【軽量ボディで、大流量かつ高速応答】真空エジェクター / EJ-MLG…

• 集中型用途に理想的 • 軽量、POM本体 • G3/4"真空ポート • 組み込み型サイレンサー • 低ノイズおよび短いサイクル時間 • 複数の真空接続に対応 • 短い真空排気時間 • VACSW-3N203-G (PNP) およびVACSW-3M203-G (NPN) 真空スイッチとの事前配置が可能 • 2段および3段EJ-LARGE カートリッジで利用可能 (EJ-HFおよび...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス