【FOOMA2024出展決定】クリーン環境対応の天井搬送システム

PR納入事例動画あり！工程間搬送で実績多数のワーク形状を問わない高速搬送シ…

■FOOMA JAPAN2024に出展決定■ 会場　　　：東京ビックサイト　東１～８ホール 会期　　　：2024年6月4日(火)～7日(金)　4日間 ブース番号：東7　P-15 ぜひ実機をご覧ください！ 「オートランバンガードMark2」は、モノレール式の高速自動搬送システムです。天井を走行し、人やコンベヤや加工機などの地上導線に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。ハンガ部分はお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン　マテハン事業部

吸音材　アルミ繊維吸音板ポアル【POAL】※製品サンプル有

PR吸音材での厚さ1.3mmからの騒音対策。ポアルで安らぎの音空間を※1枚…

『ポアル』は不燃材料のアルミニウム100％使用のため 熱や水に強く、耐候性にも優れた高機能吸音材です。 「金属独自の風合いを活かした」意匠性のある内装材用途 空調室外機や鉄道・高速道路用防音壁、屋外スタジアム庇裏 などの屋外用途等、様々な場所で採用いただいています。 過酷な環境でこそ真価を発揮する『ポアル』が、音の問題解決を お手伝い致します。 ぜひ一度ご相談ください！ 〈採用実績〉 ■工場防...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニックス 吸音材事業部

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

【仕様】 ■ハード構成：ロードロック式　ロードロック室　エッチング室各１室構成 　　　　　　　※量産用　マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ８インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■基板材質：Si、ガラス、化合物半導体基板（GaAS、サファイア）等 ■エッチング対象：各膜種 Al系（AlSi、AlSiCu）・Cr等 　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

標準バッチタイプスパッタリング装置（ＳＲＶシリーズ）

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

シリーズは基本的に４インチカソード、６インチカソード、８インチカソードを装備したバッチタイプ（標準各３元装備）。それぞれカソードの倍以上の面積を有効成膜範囲としています。 スパッタ方向（アップ、ダウン）も目的に合わせて選択可能でチャンバサイズに合わせて...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

３～８インチウェハ対応の大気搬送型ＣｔｏＣシステム。 平行平板型ＲＩＥ装置を基本とし、電極切替によるマルチモードプラズマによりソフトモードプラズマ処理を実現 ＣＦ系、Ｏ２、Ａｒ、Ｈ２などのガス系とプラ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

８インチ対応の枚葉式プラズマアッシング装置。 高密度表面波プラズマ源装備アッシング室２室装備。枚葉式ロードロック室１室装備。マルチチャンバタイプ。 コンパクトな設置寸法でハイスループットを実現。豊富なオプション類（ＲＩＥ室・ＩＣＰ室・加熱・冷却室・追加ガス系）による通常のアッシング岳でなく。マルチステップアッシング・各種有機膜エッチング・エッチング／アッシング複合装置として多くの用途・プロセスに対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

最新　実用真空技術総覧

旧版より30年間の進展を凝縮し、基礎から応用・実用までを網羅。 現場…

　低・中真空の利用 　第２編　金属材料の加工 　第３編　薄膜 　第４編　分子ビーム技術 　第５編　表面分析 　第６編　巨大真空システム 　第７編　真空が牽引する次世代先端科学技術 　第８編　環境・安全・衛生対策と法規 　第９編　計算物理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス

リモート方式大気圧プラズマ装置

窒素-酸素の混合ガスをプラズマ化し、基板に吹き付け。瞬時に表面の汚れを…

◆ダメージフリー 　　　　 ◆メンテナンスフリー 　 ◆大型化対応（～液晶第８世代大判ガラス） ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

大気圧プラズマ表面処理装置【洗浄や濡れ性改善、接着性改善に】

大気圧でフィルム・基板等の高速連続処理が可能！【サンプルテスト受付中！…

ズマを対象に吹き付けるリモート方式をラインナップしています。 【特長】 ◆工業ガス会社の知見から、様々な表面改質に提案が可能 ◆窒素を主としたガスの使用で、低ランニングコストを実現 ◆G８サイズまでの大型基板対応 【主な用途】 ◎液晶基板の洗浄　◎フィルムの濡れ性改善、接着性改善 ◎プリント基板前親水処理　◎樹脂基板塗工前処理等 ◎プリンテッドエレクトロニクス関連材料.....

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社