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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに対応可能
当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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インライン検査に最適、MEMSスキャナ検査システム
MEMS光学スキャナの光学、電気特性を測定する生産ライン用、研究開発用の検査装置です。 レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能です。 最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮が図れます。 インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能です。 コンパクト設計でインライン検査に最適です。 ○ウォブル測定(3角スリット時間変化検出方式) ...
メーカー・取り扱い企業: エーエルティー株式会社
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MEMS素子検査装置(メムス 微細穴深さ計測、パターン検査)
20μm以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、MEMS(マイクロマシン)の検査用途に使用します。 詳しくはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: ディスク・テック株式会社 本社
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簡単導入!電子実験記録ノート『BIOVIA Notebook』
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株式会社ウェーブフロント 本社