インナーカップ式スピンコーター

インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定…

【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピン...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

関節ロボットを採用 ○対象ワーク：200mm□基板又はφ300mm基板に適用 【仕様】 ○外形 W2300×D2300×H1850 ○ローダー：1カセット収納 ○カップ：SUS304テフロンコート ○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク：レジストボトル用 ○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク：SUS304 ○露光機：オプション ○現...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンコーター『APOGEE』

リアルタイムに情報をフィードバック！高い再現性＆回転誤差極小のスピンコ…

】 ■加速度は0～30,000rpm/sec（無負荷時） ■回転数は0～6,000rpm（オプションで12,000rpmも可能） ■底部からの排気・廃液ポートを装備 ■高密度ポリエチレン製テフロンボウルを使用 ※詳しくは資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

レンタル専用スピンコーター（卓上タイプ）

業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・…

X）：250mm□・φ300mm ・回転数：MAX6000rpm（9000rpm） ・回転精度：±2rpm ・カップ外径：φ500mm（φ300mm） ・テーブル材質：アルミ（オプション：テフロンコーティング） ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピンコーター（MAX200mm□）

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピン...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

卓上スピンコーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

g 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ３００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピン...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用 【仕様】 ○外形寸法：W2000×D1500×H1750 ○ローダー：1カセット収納 ○センタリング：エアーシリンダー ○カップ：SUS304テフロンコート ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

□基板又はφ2"～φ5"基板に適用 【仕様】 ○外形(mm)：W2000×D1500×H1750 ○ローダー：1カセット収納 ○センタリング：エアーシリンダー ○カップ：SUS304テフロンコート ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社