防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』

テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセン…

の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング　高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』

ウェーハ交換時間の短縮！ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボッ…

『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き 4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部 防水構造にVシールを使用しています。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に 適してい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ○アーム関節部防水構造にVシール使用 ○部品の接合部はバイトンパッキンによりシール ○Z軸部防水構造にジャバラ使用 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル