神港精機株式会社東京支店
最終更新日：2020-05-28 16:02:53.0
赤外線反射防止用ＤＬＣコーティング装置パンフレット
基本情報赤外線反射防止用ＤＬＣコーティング装置パンフレット
高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜を生産性良く成膜。表面硬度にも優れたＤＬＣ膜で赤外線センサーや特殊光学部品の研究から量産までカバー
独自開発の高密度プラズマＣＶＤ法（ＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成法）採用。
高い赤外線透過率をもつＤＬＣを安定して成膜可能
平板型基板の両面コーティングにも標準対応。
金属表面処理用途で実績豊富な基本構成のハードで信頼性＆生産性ＵＰ
硬質膜から光学膜まで多用途対応のＤＬＣコーティング装置
赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置
硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成
硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。
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ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）
実績豊富なプラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」をＤＬＣ除膜用にグレードアップ＆カスタマイズ。
従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なＤＬＣ膜の除去に対応。通常のＯ２クリーニングプロセスだけでなくマルチガスプロセスでＳｉ含有ＤＬＣなどカスタマイズされた各種ＤＬＣ膜の除去に実績。
当然ＤＬＣ除膜だけでなく成型残差や型表面の酸化層の除去、メッキ前のクリーニングにも対応。
型の仕様前後のクリーニング・表面処理に実績のプロセスを提供 （詳細を見る）
硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）
精密レンズ金型のコーティングに必要な耐熱性の高い耐摩耗膜のに形成に最適。レンズ金型のコーティングに適したＰｔやＲｕなどの貴金属合金を多元同時スパッタで小径カソードで効率的に形成。またナノ多層構造の積層膜により耐熱性と硬度に優れた膜も形成可能。
精密レンズ金型のような基板を高速に加熱できる特殊基板台と専用ロードロック機構でスループット向上を実現。 （詳細を見る）
取扱会社 赤外線反射防止用ＤＬＣコーティング装置パンフレット
●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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