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G8対応 枚葉スピン式 大型マスク洗浄装置 MSC-1500
リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する大型マスク洗浄装置です。反転機構により両面洗浄も可能です。
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枚葉スピン剥離装置 WSR-200CBT/WSR-300CBT
装置寸法:1200W×1100D×2000H (200CBT)/1500W×1100D×2000H (300CBT)
基板をマニュアルでチャックにセットし、剥離処理、リンス、スピン乾燥します。
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枚葉スピン現像装置 WSD-200CBT/WSD-300CBT
装置寸法:1200W×1100D×2000H(200CBT)/1500W×1100D×2000H(300CBT)
基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。
- 表示件数
- 45件
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