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2450MHz/1700Wマイクロ波発振器『MPS-17A』
完全空冷式!1.7kWプラズマ励起用のマイクロ波発振器
『MPS-17A』は1.7kWプラズマ励起用のマイクロ波発振器です。 電源部と発振部はセパレートタイプになっており、ともに完全空冷式です。 基板アッシング装置で多数の導入事例あり。 あな…
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マイクロ波発振器(プラズマ用)『MPS-60W-400-CE』
【新製品】入力電源3相AC400V対応の小型・高出力のインバータ式マイクロ波電源。※CEマーキング対応製品。
『MPS-60W-400-CE』は入力電源3相AC400Vで使用できる小型・高出力のインバータ式マイクロ波発振器です。 直列共振回路技術採用により高効率を実現しました。 電源部、発振部とも完全…
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2450MHzマイクロ波用 外付けメータユニット『EX-MU』
方向性結合器とセットで入射/反射電力を表示する外付けメータユニット
『EX-MU』は方向性結合器とセットで 入射/反射電力を表示する外付けメータユニットです。 あらかじめ校正をとった当社方向性結合器と セットで使うことで、入射/反射電力を表示します。 …
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