掲載開始日:2022-08-08 00:00:00.0
フッ素系溶媒対応チラー<ペルチェ式・冷凍機式>
フッ素系溶媒は絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の
温調用循環液として広く使用されています。
また不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の
冷却にも適しています。
このフッ素系循環液には、専用に設計されたチラーがございます。
<ペルチェ式チラー>
■ThermoRack1201/1801
■ThermoCube
■NIKOLA3K/5K
<冷凍機式チラー>
■M-75HFE
詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
関連製品
フッ素系溶媒対応チラー ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー
昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです
フッ素系溶媒は、絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の温調用循環液として広く使用されています。 また、不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 このフッ素系循環液には専用に設計されたチラーがございます。 <ペルチェ式チラー> ThermoRack1201/1801 ThermoCube NIKOLA3K/5K <冷凍機式チラー> …
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