プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプルテストで開発サポート。コンパクトタイププラズマ表面処理装置
エッチング・クリーニングで実績豊富なプラズマ技術で撥水コーティングに対応。樹脂フィルム・ガラス・金属薄膜、多種の基板を撥水処理。
プロセス変更で親水化やクリーニングにも対応
コパクト・リーズナブル・高信頼性、サンプルテストでプロセス開発に協力。
実績と対応のプラズマ表面処理装置
基本情報撥水コーティング装置 テスト受付中
標準２５０ｍｍ□の処理ステージで各種表面処理（撥水化・親水化・表面酸化・クリーニング）
基板と目的に合わせて各種機能プラズマモード（ＲＩＥ／ＤＰ）・ガス種（ｆ系・ＣＨ系）・基板温度（水冷／加熱）が選択可能
サンプルテストで実基板評価が可能。同コンセプト装置で大型化・連続処理化も容易
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| 用途／実績例 | 樹脂フィルム撥水化 ガラス基板撥水化 各種表面処理研究開発 実装基板プラズマクリーニング |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
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| プラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」 | |
| プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」 |
カタログ撥水コーティング装置 テスト受付中
取扱企業撥水コーティング装置 テスト受付中
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●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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