超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタムメイドでステージを設計・製作★宇宙での実績あり
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。
Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。
また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。
■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ
SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。
■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム
アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。
■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール
小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。
※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
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基本情報【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム
【主な超音波】
■HRモータ(標準型)
1μm~250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■SEモータ(最新型)
1μm~500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■EDGEモータ(小型軽量)
最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g
価格情報 | カスタム製品のため都度お見積りとなります |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | Nanomotionカスタムステージ |
用途/実績例 | 【代表的なステージ試作・開発事例(国内外)】 ○低軌道衛星向けレーザー通信用多軸プラットフォーム ○原子力間顕微鏡用ステージ ○放射光施設での精密回転ステージ ○イオンビーム(FIB)検査用4軸(X-Y-Z-T)ステージ ○半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ ○細胞イメージング用5軸低速モーションステージ ○SWaPを考慮したオートフォーカス・モジュール ○ドローン用搭載カメラ用ミニチュア・ジンバル ○ウェハ検査用レンズの駆動モジュール |
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