高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。
Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。
大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。
■ライトシート顕微鏡用ステージ
正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。
XYZとTip-Toltの5軸。
■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ
SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。
■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム
アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。
※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
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基本情報【真空にも対応】精密位置決めステージシステム
【主な超音波】
■HRモータ（標準型）
1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■SEモータ（最新型）
1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■EDGEモータ（小型軽量）
最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g
| 価格情報 | カスタム製品のため都度お見積りとなります |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Nanomotionカスタムステージ |
| 用途／実績例 | 【代表的なステージ試作・開発事例（国内外）】 ○低軌道衛星向けレーザー通信用多軸プラットフォーム ○原子力間顕微鏡用ステージ ○放射光施設での精密回転ステージ ○イオンビーム（FIB）検査用4軸(X-Y-Z-T)ステージ ○半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ ○細胞イメージング用5軸低速モーションステージ ○SWaPを考慮したオートフォーカス・モジュール ○ドローン用搭載カメラ用ミニチュア・ジンバル ○ウェハ検査用レンズの駆動モジュール |
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