高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.70

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン70です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、今回の試作内容が、T角が40(±10)、 CDロスは0.9～1.1(±0.1)であることを...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.69

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン69です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、膜構成がCu/Moで、膜厚は560/25、 T角は45(±10)、CDロスは1.0～1.2...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社

液晶ディスプレイ向け薬液開発

高度な制御、精密な加工。Cuエッチング、レジスト剥離、ガラス研磨、パフ…

当社の「液晶ディスプレイ向け薬液開発」について、ご紹介いたします。 顧客要望に合わせ角度・速度調整が可能な「Cuエッチング液」や、 剥離力、下地へのダメージ調整が可能な「レジスト剥離液」などを開発。 ローリー、IBC、ドラム、一斗缶等希望荷姿に加え場内再生設備での リサイクル運用も可能です。(レジスト剥離液) 【...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社