• 高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置 製品画像

    高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置

    PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

    【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 【事例集*半導体用途】高圧 ダイヤフラム ハイドラセルポンプ 製品画像

    【事例集*半導体用途】高圧 ダイヤフラム ハイドラセルポンプ

    【従来ポンプでお困りの方必見!】エッチング処理で発生する酸性廃棄物の中…

    全世界のあらゆる産業で40年以上の使用実績を持つハイドラセルポンプは、高圧ポンプでありながら、ダイヤフラム式の強みであるシールレス構造を特長とし、従来ポンプでは困難であった用途でも安心してご使用可能です。 エッチング工程で発生する酸性廃棄物の中和処理などの定量・薬注用途のPシリーズやサファイア加工時のクーラント送液および純水洗浄向けGシリーズなど、用途に合わせた豊富なバリエーションをご用意。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンコー

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