フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

燃料電池発電特性評価システム

PEFC・DMFC対応！ガス供給・加湿・加熱から電気特性評価まで一元管…

『燃料電池発電特性評価システム』は、ガス供給・加湿・加熱から 電気特性評価まで、専用システムソフトウエアで一元管理し、 自動試験にも対応したシステムです。 電流・電圧特性測定、電流遮断、ステップ方による内部抵抗測定、 交流インピーダンス測定、定電流/定電圧測定、OCV測定など、 さまざまな測定・評価に対応しています。 【特長】 ■ガス供給は、PEFC専用、DMFC専用、PEF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミックラボ 本社

燃料電池評価装置

試験用途に応じて設計・製作！プログラムによる連続運転が可能です

燃料電池は水素と酸素から発電し、電力を取り出します。排出物が主に 水のみで、環境有害物質の排出がない燃料電池はクリーンなエネルギー として研究されております。 当製品は固体高分子形燃料電池の発電試験装置で、発電に必要な水素、 空気を加湿し供給します。 当社流量制御技術を生かし、試験用途に応じて設計・製作しております。 【特長】 ■セル台：引き出し式でコンパクト ■セル台...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡