高圧窒素富化ガス発生装置『HND-RA』※作業事例も紹介中

PR【デモ機相談可能】100V電源で使用可。持ち運びやすくボンベ交換も不要…

『HND-RA』は、100V電源で使える高圧窒素富化ガス発生装置です。 ボンベを用いずに露点-40℃以下、濃度85％の窒素ガスを吐出・供給でき、 煩わしいボンベの搬送・交換作業が不要に。現場の省力化が可能です。 3種類の吐出圧力範囲に対応し、ロー付け部に負荷をかけない配管気密試験や スケールの少ないパージ作業など、様々な用途に使用できます。 【特長】 ■100V電源で使用可能 ■0～1.0、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サタコ

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ガス供給システム

ガス供給の効率・安全性を高める配管システム。既存設備の診断サービスも提…

スウェージロック　ガス供給設備向け配管システムと独自のサービス・プログラムが解決 スウェージロックでは、業務の標準化や安全性向上、設備のパフォーマンス改善に貢献する『ガス供給設備向け配管システム』を提供しています。供給源のシームレスな切り替えや圧力の正確な調整、メンテナンスの簡素化といったニーズに応えるパネル、高信頼性アセンブリーなどのモジュール式製品をラインアップ。同社では、専門スタッフが...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

バルブボックス(V/B)・レギュレータボックス(R/B)　設計・製作

バルブボックス(V/B)・レギュレータボックス(R/B)　設計・製作

■バルブボックス・レギュレーターボックス及びガスの特性を熟知した技術者が、最適な供給システムをご提案いたします。 タッチパネルは操作性・視認性を重視したデザインを心がけています。 また、バルブの誤操作を防止する為、バルブ間インターロック機能や開閉操作時には必ず2STEP以上の操作が必要となるよう設計します。 本社（茨城県龍ケ崎市）には出荷前検査用クリーンルームもご用意しています。 豊富な経...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関東エルエンジニアリング　（英略：KLEC） 東京支店

シリンダーキャビネット(C/C)　設計・製作

シリンダーキャビネット(C/C)　設計・製作

■シリンダーキャビネット及びガスの特性を熟知した技術者が、最適な供給システムをご提案いたします。 タッチパネルは操作性・視認性を重視したデザインを心がけています。 また、バルブの誤操作を防止する為、バルブ間インターロック機能や開閉操作時には必ず2STEP以上の操作が必要となるよう設計します。 本社（茨城県龍ケ崎市）には出荷前検査用クリーンルームもご用意しています。 豊富な経験と実績で、貴社...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関東エルエンジニアリング　（英略：KLEC） 東京支店