非蒸発型ゲッターポンプ　マジックNEG

残留水素でお悩みの方に！

0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス（水素）放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」

非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。 このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が大幅に短縮されます。 【特徴】 ○インシトールファーストポンプをチャン...

メーカー・取り扱い企業： アップ・テック・ジャパン株式会社

ゲッターポンプ『マジックNEGポンプ』

取り付け方向自由！ピルNEGを使った極高真空発生向NEGポンプ

『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた 新しい構想のゲッターポンプです。 ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を 再構築しました。 当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と 組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを 発生させること...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤチダ

無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ

大気開放と活性化を繰り返しても排気速度が低下しません！

当社では、150℃、1.5～12時間のベーキングで水素や一酸化炭素を 排出する非蒸発型ゲッターポンプを取り扱っております。 加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの 超高真空ポンプとして適しております。 【特長】 ■完全オイルフリー ■活性化以外は電源を使用しない ■原理的に10-10Pa台まで排気可能 ■無振動・無騒音 ■小型軽量　など ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社バロックインターナショナル

高真空対応 ゲッターポンプ「CapaciTorr HV(R)」

高真空領域(10-7～10-9Torrで繰り返し使用可能な非蒸発型ゲッ…

CapaciTorr HVポンプは新しい多孔質性焼結型ゲッター合金ZAOを使用しています。ZAOは大量の大気、水、一酸化炭素、二酸化炭素を吸着する能力を持つため、CapaciTorr HVポンプは高真空の領域で繰り返し使用することができる初めてのゲッターポンプです。（10-7～10-9Torrレベル） 【特徴】 ○ 全ての活性ガスに対し高い排気速度 ○ 高真空でガス負荷が多い時は高温稼動...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店

イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」

全てのガスを効率的に排気する　超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ

NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。 小さなスパッタイオンポンプ（SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。 活性化ガス(水、水素、窒素等）向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つイ...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店