フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

サーモクーラー　極低温SAMOL「VL-2F2/VL-3F3」

PR-50℃の極低温状態を、あなたの机上に実現！高性能の電子冷却システム

日本ブロアーのサーモモジュール電子冷却システムSAMOLファミリーに、極低温環境を机上に実現するVLシリーズが登場しました。 従来品では-10℃が実現最低温度でしたが、高機能のVl-3F3では-50℃(VL-2F2では-30℃)の冷却空間を作り出します。 温度管理は専用コントローラーで±0.1℃単位で設定できます。 コンプレッサーを使用しないため騒音もありません。 理学や薬学関連の...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブロアー株式会社

サーモバルブ用リークテスト装置

自動車関係に気密検査を自動化・標準化して、品質と生産効率の向上に貢献し…

今日の生産工場では、製品によっては、高い製造品質を維持して行くために、全品の「漏れ検査」が必要とされています。しかし、従来の「水没目視検査」では、手間がかかり、検査の数値化も困難でした。 　リークテスタは、検査が必要な完成品・部品に圧力を加圧（または減圧）して、高感度差圧センサーで圧力の変化を検出して測定する装置です。「漏れ」を電気的に検出するため、検査の数値化、自動化が可能です。詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナック