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55件 - メーカー・取り扱い企業
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5件 - カタログ
44件
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Nova plusは､高速にダイをウエハ/サブストレート/ダイへのボン…
”Nova plus ”は、同社の特許であるアライメント技術を用いて、 高速に個片化されたダイをウエハ/サブストレート/ダイへ、 ボンディングを可能にした装置です。 また、デュアルボンドヘッドを搭載しております。 【特徴】 ・アライメント精度：±2.5μm＠3σ ・アライメント技術（特許） ・ボンディング時の接合方法 ・デュアルボンドヘッド搭載 ・光通信関係やシリコンフォトニ...
メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社
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抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】
ション：オートステージシャッター） ●ユーザーフレンドリー性の高いパソコン+専用ソフトウェアでの操作システム ●測定パターンプログラマブルのため、円型・角型測定可能 ●セルフテスト機能、シリコンウエハ測定用厚さ・周辺位置・温度補正機能 ●シート抵抗・メタル膜厚表示可能 ●円型：最大1,225点、角型：最大1,000点の2-Ｄ/3-Ｄマッピングソフトウェア（オプション） ●対象ウエ...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…
【特徴】 ●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。 ●実績が示す万全の安全対策 ●オールステンレスにより破損の危険性を排除 ●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減 ●お客様のワークに応じた仕様変更も可能 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお問い合わせください...装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象：６インチ １カセット相当 ...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…
各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
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半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…
当温度モニターは、今までに解決できなかった放射率に対する問題とシリコンウエハのプロセス中の測温に対する問題を一挙に解決できる、次世代の非接触半導体プロセス温度モニターです。 ウエハの放射率もリアルタイムにモニタリング。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム
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試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置
大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い 表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため 厚みのある基板（試料)を処...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル
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ＰＮ判定器 【PN-12α】
【広範囲な抵抗レンジで測定可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式：熱起電力方式（ホット＆コールドプローブ） ◆ペン型のプローブを当てるだけで判定が可能 ◆ほとんどの試料（シリコンウエハ、バルク、インゴット）に対応 （表面が酸化している試料は判定不可能） ◆温度計、アナログメーターを標準装備 ◆自動ウエハ搬送装置に組込使用が可能（PN-12β） ●対象ウエハサイズ...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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安全でクリーンな乾燥を実現！スピンドライヤー
実現 ●弊社独自のバランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現 ●イオナイザー、ＵＬＰＡフィルターを標準装備 ●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意 ●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。...
メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課
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電磁スキャナー式（特許取得済み） ダメージレスで非破壊で測定可能 …
初心者でも正確な測定が可能です！ サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます！ ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】 ・奥行幅、共に１５cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績 ・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します ・スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用す...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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サンプルの形状変更に柔軟に対応できるため、様々な種類の接合実験が可能な…
常温でバルク破壊強度が得られるウエハ接合を実現しました。 研究開発用接合装置から量産用接合装置まで対応しています。 ウエハレベルパッケージ、３次元実装など幅広い分野で使用いただいています。 開発用は、研究用表面活性化接合装置をシリーズ化し、活性化処理と接合を 行う機能を絞った接合装置から高精度アライメント、解析装置を搭載した 接合装置までさまざまなご提案をいたします。 量産用は、超高真...
メーカー・取り扱い企業： アユミ工業株式会社
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抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】
接触の渦電流法なのでダメージを与えることなく測定が可能 ◆測定レンジにより、MiddleとHighの組み合わせセンサー交換式（オプションでLowセンサーもお選び頂けます） ◆温度補正機能（シリコンウエハ） ●対象ウエハサイズ：3インチ〜8インチ、または〜140mm角（オプション：2インチまたは12インチ対応、140mm以上の角型基板） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…
ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ4” 厚みについては応相...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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アモルファス太陽電池搬送装置
空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・ 偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…
各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇ Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 各種ウェハに対応 ◇ 異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
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コンパクトなため、設置場所を選ばずAC100Vのみで動作します。
小型研磨機 TR06Mは、「試料研磨用に簡易的な装置がほしい」「設置場所が限られているため、小型の装置がほしい」とのご要望から開発いたしました。装置本体サイズ350mm×220mmとコンパクトなため、設置場所を選ばずAC100Vのみで動作します。金属部品・ガラス・ウエハなどの加工ができ、研磨プレートを交換することでラッピングのみならず、ポリッシングや簡易的なCMPにも使用できます。研磨方法も、スラ...
メーカー・取り扱い企業： テクノライズ株式会社
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