メタルシール採用事例：半導体製造用化学物質キャニスター

PR樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報！メタルシールを…

当社の「HELICOFLEX デルタシール」が化学会社のキャニスター用 シールに採用された事例をご紹介いたします。 化学会社のキャニスター用シールの仕様は、真空と正圧の両方を ヘリウムリークタイトできる信頼性と、耐久性に優れることなので、 樹脂製やエラストマー性の採用はできませんでした。 採用後は、ヘリウムリークタイトを実現し、通常よりも設計締付圧力が 低いことによりボルト荷重が下がり、スペー...

メーカー・取り扱い企業： テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

【解説資料】今さら聞けないパッキン・ガスケット・Oリングの違い

PRパッキン・ガスケット・Oリングの違いと、ステンレス容器の密閉に欠かせな…

ステンレス容器を使用する場合、使用目的により容器に対して様々な要求があります。 容器を密閉したり、容器から製造機器へ配管する際にシール部品が活躍しています。 ここでは弊社のステンレス容器で多く使用している様々なシール部品と、その中でもパッキンについて解説いたします。 ただし、ここに書かれているのは一般的に知られているものの紹介になります。 シール部品は材料や用途により、これ以外にも多く...

メーカー・取り扱い企業： MONOVATE(旧：日東金属工業)株式会社 八潮工場

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV30/30SHシリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実…

『S-TORRV30/30SHシリーズ』は、一次室の流路にフィルターを内蔵し、 内部リーク発生を低減している超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い 圧縮ガ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵！特に純度の高いガスでも安心してお使いい…

特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…

『S-TORRV1900シリーズ』は、内部リークを抑えるため、デカボランの 生成しづらい好適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TO...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300SH/AH』

TORR調整器をベースに開発！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に…

とにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。 【特長】 ■腐食性ガス用機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ※詳しくはPDF資料をご覧い...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV1300シリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！出荷検査を全数に実施した超高純度ガス用圧力調…

シリーズ』は、一次高圧用の標準機種としてシリンダー キャビネットなどの一次減圧設備に広くご使用いただいている 超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』

出荷検査を全数に実施！タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器の…

【その他の特長】 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの供給に強い構造 ■接ガス部からスプリングを排除し、パー...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVA10シリーズ』

負圧制御、低蒸気圧用機種！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク…

【その他の特長】 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを負圧供給する 　シリンダーキャビネットで使用可能 ■接...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV02シリーズ』

小型のアウトレットパネルを設計可能！装置への組み込みにも好適な圧力調整…

腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■小型機種 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■小型のアウトレットパネルを設計可能 ■装置への組み込みにも適している ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300シリーズ』

一次側高圧用中流量機種！一次減圧設備に広くご使用いただいております

として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」が ございます。お問い合わせください。 【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■シリンダーキャビネットなどの一...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部