ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

独自の押出成形技術でつくる外径6mmくらいまでの『窒化アルミ』

PR小径なロッドや微細孔なパイプ形状の製作が可能

一般的には板状やシート状のものが多いですが、ロッドやパイプ状を 必要とする部分は御座いませんでしょうか。 　 弊社の「窒化アルミ」はシャープペンシル芯の押出成形技術を応用し、 アスペクト比200以上の物まで製作可能です。 　 「窒化アルミ」は、セラミックスの中でも極めて高い熱伝導率を備え 電気絶縁性や熱放射性に優れた素材になります。 　 対応サイズは、外径φ0.5～φ6.0くらい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パイロットコーポレーション

ポーラスチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に集中する吸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

エッジグリップチャック

裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。

材質 チャック本体:セラミックス, アルミニウム, CFRP ウェーハ接触部:PEEK 表面処理 導電性テフロンコーティング ユーティリティ エア：エアシリンダ駆動用 0.09MPa以上（構造により異なります）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

被搬送物 SEMI規格300mm 主にシリコンウェーハなど 材質 高純度アルミナセラミックス焼結体 表面処理 導電性テフロンコーティング ウェーハ保持方式 真空吸着 全長 242mm 厚み 3mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

落とし込みチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

材質 セラミックス, アルミニウム, CFRP 表面処理 導電性テフロンコーティング...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

：RS232C及びパラレルフォトI/O S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル