厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ

PR酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…

ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。　　 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

防湿庫『ドライ・キャビ』／恒湿保管庫『ウエット・キャビ』

PR“超低湿度保管”が可能な省エネ機能付き防湿庫＆給水なしで加湿できる恒湿…

当社では、湿度管理に役立つ製品をラインアップしています。 ＜防湿庫『ドライ・キャビ』超低湿度型ＨＹＰシリーズ＞ 超高速除湿型のHYPシリーズと高速除湿型のDUSシリーズを用意しています。 ■1％RH以下の超低湿度を保持可能 ■湿度設定と自動省エネの機能が付いて更に高性能化 ■使いやすい全面ワイドドアで横長のものも出し入れ簡単 ■庫内に100V電源用差し込み口付き ■ドライユニット...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

面実装タイプの受動電子部品（抵抗器・コンデンサ）などの側面電極をドライプロセスで形成。 廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜形成にも対応） 実績豊富なハードと独自の成膜...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

による有機物除去後H2プラズマクリーニングによる表面還元クリーニング（表面酸化層除去）のSTEPクリーニング。 プラズマのイオンによる物理洗浄効果と水素還元能力を両立。 従来に無い効果をもつ新ドライ洗浄装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…

２５０ｍｍ□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。 従来機「ＰＯＥＭ」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とＯ２イオンでＤＬＣを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。 プラズマエッチングで蓄積されたマルチガスプロセスで多様なＤＬＣ膜の除去に対応するとともに微細加工モールドの作成にも実績。ＤＬＣだ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

【DLC膜の特長】 ■摺動部品 ・高硬度 ・低摩擦係数＝0.1 ・低い相手攻撃性 ■切削工具、金型 ・耐摩耗性 ・非溶着性 ・ドライ加工 ■光学部品 ・赤外通過性 ・屈折率＝2 ・表面平滑性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

処理、下地硬化からコーティングまで高品質一貫処理。 本装置（アーク放電式マグネトロンスパッタリング装置）の水素フリーDLC膜（ADMSーCN膜）は今までのDLC（硬質膜形成）にとどまらない新たなドライプロセスとしてプラズマ表面処理技術新たな可能性を大きく拡げています。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理にも実績豊富。 電子デバイスだけでな半導体製造装置部品や材料などくクリーンネスと繊細な表面処理が求められる大型製品の処理にも最適な新型ドライプロセスツール...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店