超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を 正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。 高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の 湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が 付いて高性能化しました。 使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、 横長のもの...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

中量機用二流体ノズル 　※2024年3月導入済！

PR300種類超の製造実績！1987(昭和62)年運転開始以来コンタミクレ…

ラボ機での反響を踏まえ、平均粒子径5～20μmの微粒子造粒粉をつくる 中量機用二流体ノズルを2024年3月に導入致しました。 2022年12月に、微粒子生産試験用として二流体ノズル噴霧機構を 導入してから約一年、お客様からのフィードバックが良好であること、 またその結果を踏まえスケールアップをご希望の声があることなどをかんがみ、 中量機(大川原・OC-16型)向けにも二流体ノズル噴霧...

メーカー・取り扱い企業： 日華化成有限会社

【化学業界向け】ドライ真空ポンプ

水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ

◆化学業界で水封式真空ポンプからドライポンプへ置換える際に、様々な吸引物により、一般的なドライ真空ポンプでは不具合が発生します。当社のドライ真空ポンプは吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、故障せず安定した連続運転が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SSHシリーズ

省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポン…

豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、省エネの「エコノミーモード...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

自動車部品用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１０７５ＳＲ型）

コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応　高速…

着加工に特化した専用蒸着装置です。 大口径の排気系とコンパクトなチャンバによる高速バッチ処理を実現。 シンプルな装置構成と高速バッチ処理で量産ラインの生産性の向上を図ります。 オールドライ排気系の採用と前扉型の装置形状によって 排気系のメンテフリー化とシステムのメンテナンス性にも優れており 高い稼働率を実現しています。 【特長】 ■樹脂基板への高速バッチ処理 ■安定し...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

面実装タイプの受動電子部品（抵抗器・コンデンサ）などの側面電極をドライプロセスで形成。 廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜形成にも対応） 実績豊富なハードと独自の成膜...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

６００ｍｍ□×６００ｍｍＨ／バッチの大量バッチ処理 炉内全面ヒーターの均一加熱 ドライポンプ＋ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系 高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応 基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

による有機物除去後H2プラズマクリーニングによる表面還元クリーニング（表面酸化層除去）のSTEPクリーニング。 プラズマのイオンによる物理洗浄効果と水素還元能力を両立。 従来に無い効果をもつ新ドライ洗浄装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…

２５０ｍｍ□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。 従来機「ＰＯＥＭ」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とＯ２イオンでＤＬＣを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。 プラズマエッチングで蓄積されたマルチガスプロセスで多様なＤＬＣ膜の除去に対応するとともに微細加工モールドの作成にも実績。ＤＬＣだ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

表面処理用多目的スパッタリング装置 STV6301型

立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処…

樹脂・ガラス・金属等立体形状部品・成形品への表面処理に各種コーティングを効率的に行えるドライ表面処理装置です。金属・セラミックス等各種薄膜を全面に成膜できます。 特徴 ◎立体形状部品への外周全面成膜 ◎特殊機構によるコップ・タンブラー内面コーティング ◎天然由来のドライ親水性コー...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

【DLC膜の特長】 ■摺動部品 ・高硬度 ・低摩擦係数＝0.1 ・低い相手攻撃性 ■切削工具、金型 ・耐摩耗性 ・非溶着性 ・ドライ加工 ■光学部品 ・赤外通過性 ・屈折率＝2 ・表面平滑性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中

フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェット…

ダメージフリーのダウンフロー型表面波プラズマの強還元性Ｈ２ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー　フラックス塗布、洗浄工程　塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライＣｔｏＣシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

処理、下地硬化からコーティングまで高品質一貫処理。 本装置（アーク放電式マグネトロンスパッタリング装置）の水素フリーDLC膜（ADMSーCN膜）は今までのDLC（硬質膜形成）にとどまらない新たなドライプロセスとしてプラズマ表面処理技術新たな可能性を大きく拡げています。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

メカニカルブースタ　SMB-Cシリーズ

【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ

後段の真空ポンプ（ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ）と組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、到達圧力を1～2桁低くできます。 ●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上が...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理にも実績豊富。 電子デバイスだけでな半導体製造装置部品や材料などくクリーンネスと繊細な表面処理が求められる大型製品の処理にも最適な新型ドライプロセスツール...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

タなど柔軟な対応が特徴。 ポンプの特性と材質によってパーティクルや塩素系ガスの排気に実績豊富なシステム。 豊富なポンプの組み合わせによって幅広い要求に対応。 成膜前の粗引排気にラフプロセス用ドライ真空ポンプ（SSHシリーズ）を使用する事でさらに信頼性の高いシステムにグレードアップ。圧力調整機構を含めた排気システムとして提案可能。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標準装備。短タクト処理を実現。 拡張機能により６インチウェハまで対応。 水素雰囲気還元熱処...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【真空焼結炉向け】ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）

油回転真空ポンプからの置き換えに最適なドライポンプ

真空焼結炉では飛散するバインダーが油回転真空ポンプに堆積し故障原因となったり、オイルが汚染され頻繁なオイル交換の必要があります。当社ドライポンプは内部にバインダーが堆積しにくい構造のため故障せず、オイル交換にかかるランニングコストも大幅に削減できます。 ●真空焼結炉では油回転真空ポンプからドライポンプへの置き換えが今のトレンド...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店