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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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『21000型グローブ形/21000A型アングル形単座調節弁』
PR多くのプロセス制御に!21000型グローブ弁と21000A型アングル弁…
当製品は、多くのプロセス制御の用途に対応できる様に設計された重荷重型 トップガイドの単座弁です。 【特長】 ・トップガイド式プラグ ・小さな圧力回復と高容量 ・高い締切差圧 ・タイトシャットオフ ・広い適用温度範囲 ・選択された材質 ・シンプルで高性能のトリムパッケージ ・低騒音トリム及びアンチキャビテーショントリム ・ねじ込み式又はクイックチェンジ式のシートリング ・...
メーカー・取り扱い企業: 日本ドレッサー株式会社
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位置決め精度が求められるプロセスや、重量ワークの安定した搬送に好適!
スプリングプランジャーは、吸着時の高さ調整や衝撃を緩和するための真空パッド用のアクセサリです。 スプリングプランジャー FST-LOCK-HDは、ストロークを任意の位置で固定することが可能です。ワークを持ち上げた際の自重によるたわみや位置のずれ・ワーク姿勢の変化を防止します。 形状の異なるワークにも柔軟に対応し、同一ハンドでの多品種搬送に好適です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログ...
メーカー・取り扱い企業: シュマルツ株式会社
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入荷品のテスト、プロセス中間体のモニタリング、最終製品配合のス…
ブルカージャパン株式会社 バイオスピン事業部