フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

圧力レギュレーター Kシリーズ

プロセスや装置内において正確で安定した圧力を供給！圧力／背圧・／ヒータ…

● プロセスや装置内において正確で安定した圧力を供給することができます。 ● プロセス変動の可能性を削減し、圧力の影響による装置のトラブルを軽減します。 ● 豊富な製品ラインアップを取り揃えており...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

大流量／手動式ガス圧力レギュレーターHFシリーズ・手動式

HFシリーズは、正確に二次側圧力を制御する独自の圧力感知アセンブリーと…

　 連動するロード・スプリング ■バルブの面間寸法と同じコンパクトなボディでありながら、 　 大流量(最大流量：200 std L/min)に対応するデザイン ■システム・コンポーネントとプロセス・ラインの省スペース化を実現 ■最新版のカタログはスウェージロック社公式ホーム・ページで 　 入手が可能です。詳細は、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン